1、 Sputtringsförberedelse
Det är mycket viktigt att hålla vakuumkammaren, speciellt sputtersystemet rent. Eventuella rester som bildas av smörjolja, damm och tidigare beläggning kommer att samla upp vattenånga och andra föroreningar, vilket direkt påverkar vakuumgraden och ökar risken för filmbildande misslyckande. Kortslutnings- eller målljusbåge, grov filmyta och överdrivet innehåll av kemiska föroreningar orsakas ofta av oren sputterkammare, sputterpistol och mål. För att hålla sig till beläggningens sammansättningsegenskaper är det nödvändigt att rengöra och torka förstoftningsgasen (argon eller syre). Efter att substratet har installerats i förstoftningskammaren måste luften extraheras för att nå det vakuum som processen kräver. Skärmskyddet i det mörka området, hålrumsväggen och intilliggande yta måste också hållas rent. Vid rengöring av vakuumkammaren förespråkar vi att man använder kulblästring i glas för att behandla de dammiga delarna, tillsammans med tryckluft för att avlägsna de tidiga sputterresterna runt kammaren, och sedan tyst polera den yttre ytan med aluminiumoxidimpregnerat sandpapper. Efter polering av gasvävspapperet rengörs det med alkohol, aceton och avjoniserat vatten. Tillsammans förespråkar den användningen av industriell dammsugare för extra rengöring. Målen som produceras av Gaozhan metall är förpackade i vakuumförslutna plastpåsar,
Inbyggt fuktsäkert medel. När du använder målet, vänligen rör inte vid målet direkt med din hand. Obs: när du använder målet, använd rena och luddfria underhållshandskar. Rör aldrig målet direkt med händerna
2、 Målrengöring
Syftet med målrengöring är att ta bort damm eller smuts som kan finnas på målets yta.
Metallmålet kan rengöras i fyra steg,
Det första steget är att rengöra med en luddfri mjuk trasa indränkt i aceton;
Det andra steget liknar det första steget, rengöring med alkohol;
Steg 3: rengör med avjoniserat vatten. Efter tvätt med avjoniserat vatten, placera målet i ugnen och torka det vid 100 ℃ i 30 minuter.
Rengöring av oxid- och keramiska mål ska utföras med en luddfri trasa.
Det fjärde steget är att tvätta målet med argon med högt tryck och låg vattengas efter att ha avlägsnat det dammiga området, för att ta bort alla föroreningspartiklar som kan bilda bågar i sputtersystemet
3、 Målenhet
I processen med målinstallation är Z viktiga försiktighetsåtgärder att säkerställa en god värmeledningsförbindelse mellan målet och sputterpistolens kylvägg. Om kylstavens skevhet är kraftig eller om bakplattans skevning är allvarlig, kommer målanordningen att spricka eller böjas, och värmeledningsförmågan från det bakre målet till målet kommer att påverkas kraftigt, vilket resulterar i att värmeavledning misslyckas. i förstoftningsprocessen, och målet kommer att spricka eller missa
För att säkerställa värmeledningsförmågan kan ett lager grafitpapper stoppas mellan katodens kylvägg och målet. Var uppmärksam på att noggrant kontrollera och klargöra planheten hos kylväggen på sputterpistolen som används för att säkerställa att O-ringen alltid är på plats.
Eftersom renheten hos det använda kylvattnet och det damm som kan uppstå under driften av utrustningen kommer att avsättas i katodkylvattentanken, är det nödvändigt att kontrollera och rengöra katodkylvattentanken när du installerar målet för att säkerställa en jämn cirkulation av kylvatten och att inlopp och utlopp inte blockeras.
Vissa katoder är planerade att ha ett litet utrymme med anoden, så vid installation av målet krävs det att det inte finns någon beröring eller ledare mellan katoden och anoden, annars uppstår en kortslutning.
Se bruksanvisningen för utrustningen för information om hur du använder målet korrekt. Om det inte finns någon sådan information i användarmanualen, försök att installera enheten enligt relevanta förslag från Gaozhan metal. När du drar åt målfixturen, dra först åt en bult för hand och dra sedan åt en annan bult på diagonalen för hand. Upprepa detta tills alla bultar på enheten är åtdragna och dra sedan åt med något.
4、 Kortslutning och täthetsinspektion
Efter att målenheten är klar måste du kontrollera kortslutningen och tätheten för hela katoden,
Det föreslås att avgöra om det finns en kortslutning i katoden med hjälp av en resistansmätare
Raddiskriminering. Efter att ha bekräftat att det inte finns någon kortslutning i katoden kan läckagedetektering utföras och vatten kan införas i katoden för att bekräfta om det finns vattenläckage.
5、 Mål före sputtering
Target pre sputtering förespråkar ren argon sputtering, som kan rengöra ytan på målet. När målet är förförstoftat rekommenderas det att långsamt öka förstoftningseffekten, och effektökningshastigheten för det keramiska målet är 1,5 WH/cm2. Förförstoftningshastigheten för metallmål kan vara högre än för keramiskt målblock, och en rimlig effektökningshastighet är 1,5 WH / cm2.
I processen med förförstoftning måste vi kontrollera bågbildningen hos målet. Förförstoftningstiden är i allmänhet cirka 10 minuter. Om det inte finns något ljusbågsfenomen, öka kontinuerligt sputtereffekten
Till inställd effekt. Enligt erfarenhet är den acceptabla Z höga förstoftningskraften för metallmål
25 watt / cm2, 10 watt / cm2 för keramiskt mål. Se inställningsgrunden och erfarenheten av vakuumkammarens tryck under sputtering i användarens systemmanual. Generellt bör det säkerställas att vattentemperaturen vid utloppet av kylvatten bör vara lägre än 35 ℃, men Z är det viktigt att säkerställa att det cirkulerande kylvattensystemet kan fungera effektivt
Den snabba cirkulationen av underkylningsvatten tar bort värme, vilket är en viktig garanti för att säkerställa kontinuerlig sputtering med hög effekt. För metallmål förordas generellt att kylvattenflödet är
20 lpm vattentryck är cirka 5 gmp; För keramiska mål rekommenderas generellt att vattenflödet är 30 lpm och vattentrycket är cirka 9 gmp
6、 Målunderhåll
För att förhindra kortslutning och ljusbågsbildning orsakad av oren kavitet i förstoftningsprocessen, är det nödvändigt att ta bort sputtern som samlats i mitten och på båda sidorna av sputterspåret i etapper,
Detta hjälper också användare att kontinuerligt sputtera med z hög effekttäthet
7、 Mållagring
Målen som tillhandahålls av Gaozhan metal är förpackade i vakuumplastpåsar med dubbla lager. Vi förespråkar att användarna håller målen, oavsett om de är metall eller keramik, i vakuumförpackningar. I synnerhet måste bindemålen förvaras under vakuum för att förhindra att oxidationen av bindningsskiktet påverkar bindningskvaliteten. När det gäller förpackning av metallmål förespråkar vi att Z ska förpackas i rena plastpåsar
Posttid: 13 maj 2022