Många användare överväger inte köp av mål ur en professionell synvinkel, så vad bör man vara uppmärksam på när man köper mål? Låt oss be Xiaobian från Peking Ruichi att påpeka de saker som behöver uppmärksammas när man köper mål.
För det första, för målet, är renheten en av dess huvudsakliga funktionella indikatorer, och renheten hos målet har stor inverkan på funktionen hos den senare produktfilmen. Varje produkt har också olika krav på målets renhet.
För det andra, föroreningshalten i enskilda element i målet. Efter en serie målbearbetning är föroreningarna i målfastämnet och syret och vattenångan i porerna de huvudsakliga föroreningskällorna för de avsatta filmerna. På grund av olika användningar av mål är också kraven på olika föroreningshalter i mål med olika användningsområden olika. Exempelvis har mål av rena aluminium och aluminiumlegeringar som används inom halvledarindustrin nu särskilda krav på innehållet av alkalimetaller och radioaktiva grundämnen.
Densitet är också ett av de viktiga prestationsindexen för målet. I den tekniska processen för målet, för att minska porerna i målfastämnet och förbättra funktionen hos den förstoftade filmen, krävs i allmänhet att målet har en hög densitet. Den huvudsakliga karaktäristiska densiteten för målet har ett stort inflytande på sputterhastigheten och påverkar filmens elektriska och optiska funktioner. Ju högre måltäthet, desto bättre funktion har filmen.
Slutligen kornstorleken och kornfördelningen. Vanligtvis är målmaterialet polykristallint, och kornstorleken kan variera från mikron till millimeter. För samma mål är förstoftningshastigheten för finkorniga mål snabbare än för grovkorniga mål; Tjockleken på filmerna som avsatts genom målförstoftning med liten kornstorleksskillnad (likformig dispersion) är mer enhetlig.
Posttid: 2022-jun-10