Niobmålmaterial används huvudsakligen i optisk beläggning, ytteknisk materialbeläggning och beläggningsindustrier som värmebeständighet, korrosionsbeständighet och hög ledningsförmåga. Inom området optisk beläggning appliceras den huvudsakligen i oftalmiska optiska produkter, linser, precisionsoptik, storarea beläggning, 3D-beläggning och andra aspekter.
Niob-målmaterialet kallas vanligtvis ett blott mål. Det svetsas först till kopparbakmålet och sputteras sedan för att avsätta niobatomer i form av oxider på substratmaterialet, vilket ger en sputtrande beläggning. Med den kontinuerliga fördjupningen och expansionen av niobmålteknologi och tillämpning har kraven på enhetligheten hos niobmålmikrostrukturen ökat, främst manifesterat i tre aspekter: kornstorleksförfining, ingen uppenbar texturorientering och förbättrad kemisk renhet.
Den enhetliga fördelningen av mikrostruktur och egenskaper genom hela målet är avgörande för att säkerställa sputterprestandan hos niobmålmaterial. Ytan på niobmål som påträffas i industriell produktion uppvisar vanligtvis regelbundna mönster, vilket i hög grad påverkar målens sputterprestanda. Hur kan vi förbättra utnyttjandegraden av målen?
Genom forskning har det visat sig att föroreningshalt (målrenhet) är en viktig faktor som påverkar renheten. Den kemiska sammansättningen av råvarorna är ojämn och föroreningar berikas. Efter senare valsningsbearbetning bildas regelbundna mönster på ytan av niobmålmaterialet; Genom att eliminera ojämn fördelning av råmaterialkomponenter och föroreningsanrikning kan man undvika att det bildas regelbundna mönster på ytan av niobmål. Inverkan av kornstorlek och strukturell sammansättning på målmaterialet kan vara nästan försumbar.
Posttid: 2023-jun-19