På grund av den höga temperaturstabiliteten, det höga elektronmigreringsmotståndet och den höga elektronemissionskoefficienten för eldfasta volfram och volframlegeringar, används högrena volfram- och volframlegeringar främst för tillverkning av grindelektroder, anslutningsledningar, diffusionsbarriärlager etc. av halvledare integrerade kretsar, och har höga krav på renhet, innehåll av föroreningselement, densitet, kornstorlek och kornstrukturens enhetlighet hos material. Låt oss nu ta en titt på de faktorer som påverkar beredningen av högrent volframmål.
1、 Effekt av sintringstemperatur
Formningsprocessen för volframmålembryot görs vanligtvis genom kall isostatisk pressning. Volframkornet kommer att växa under sintringsprocessen. Tillväxten av volframkornen kommer att fylla gapet mellan korngränserna, vilket förbättrar volframmålets täthet. Med ökningen av sintringstider saktar ökningen av volframmåldensiteten gradvis ner. Den främsta anledningen är att efter flera sintringar har kvaliteten på volframmål inte förändrats mycket. Eftersom de flesta av tomrummen i korngränsen är fyllda med volframkristaller, efter varje sintring, har den totala storleksändringshastigheten för volframmålet varit mycket liten, vilket resulterar i begränsat utrymme för volframmålets täthet att öka. Med sintringsprocessen fylls de odlade volframkornen i hålrummen, vilket resulterar i en högre densitet av målet med mindre partikelstorlek.
2、 Effekt av hålltid
Vid samma sintringstemperatur kommer volframmålets kompakthet att förbättras med förlängningen av sintringshålltiden. Med förlängningen av hålltiden kommer volframkornstorleken att öka, och med förlängningen av hålltiden kommer tillväxttiderna för kornstorleken gradvis att sakta ner, vilket innebär att en ökning av hålltiden också kan förbättra prestandan hos volfram mål.
3、 Effekt av rullning på målegenskaper
För att förbättra tätheten hos volframmålmaterial och erhålla bearbetningsstrukturen för volframmålmaterial måste rullningen av volframmålmaterial med medeltemperatur utföras under omkristallisationstemperaturen. Om rullningstemperaturen för målämnet är hög kommer fiberstrukturen hos målämnet att vara grov och vice versa. När varmvalsningshastigheten når mer än 95%. Även om skillnaden i fiberstruktur som orsakas av olika ursprungliga korn eller olika rullningstemperaturer kommer att elimineras, kommer målets inre struktur att bilda en relativt enhetlig fiberstruktur, så ju högre bearbetningshastigheten för varmvalsning är, desto bättre prestanda för målet
Posttid: 2023-02-15