Huvudegenskaper för sputtring av målmaterial

Vi måste vara mycket bekanta med målet nu, nu ökar också målmarknaden, följande är vad som är huvudprestanda för sputtermål som delas av redaktör från RSM

　　Renheten

Målmaterialets renhet är ett av de viktigaste prestandaindexen, eftersom renheten hos målmaterialet har stor inverkan på prestandan hos tunn film. Men i praktisk tillämpning är renhetskraven för målmaterial inte desamma. Till exempel, med den snabba utvecklingen av mikroelektronikindustrin, har kiselchipsstorleken utvecklats från 6 ", 8" till 12 ", och ledningsbredden har reducerats från 0,5um till 0,25um, 0,18um eller till och med 0,13um. Tidigare kan renheten hos 99,995% målmaterial uppfylla processkraven på 0,35umIC. Renheten hos målmaterialet är 99,999 % eller till och med 99,9999 % för framställning av 0,18 um linjer.

　　Orenhetsinnehåll

Föroreningarna i målfastämnet och syret och vattenångan i porerna är de huvudsakliga föroreningskällorna för filmavsättning. Målmaterial för olika ändamål har olika krav på olika föroreningshalt. Exempelvis har mål av rena aluminium och aluminiumlegeringar som används inom halvledarindustrin särskilda krav på innehållet av alkalimetaller och radioaktiva grundämnen.

　　Densiteten

För att reducera porositeten i målfastämnet och förbättra prestandan hos förstoftningsfilmen krävs vanligtvis hög densitet hos målet. Måltätheten påverkar inte bara sputterhastigheten utan även filmens elektriska och optiska egenskaper. Ju högre måltäthet, desto bättre filmprestanda. En ökning av målets densitet och styrka gör dessutom att målet bättre motstår den termiska påfrestningen i förstoftningsprocessen. Densitet är också ett av de viktigaste prestationsindexen för målet.

　　Kornstorlek och kornstorleksfördelning

Målet är vanligtvis polykristallint med kornstorlekar från mikrometer till millimeter. För samma mål är förstoftningshastigheten för målet med små korn snabbare än för målet med stora korn. Tjockleksfördelningen av filmerna som avsatts genom förstoftningsmål med mindre kornstorleksskillnad (likformig fördelning) är mer enhetlig.