Magnetron sputtering palapis mangrupakeun metoda palapis uap fisik anyar, dibandingkeun jeung métode palapis évaporasi saméméhna, kaunggulan na dina loba aspék anu cukup luar biasa. Salaku téhnologi dewasa, magnetron sputtering geus dilarapkeun dina loba widang.
Prinsip sputtering magnetron:
Médan magnét ortogonal jeung médan listrik ditambahkeun antara kutub udagan sputtered (katoda) jeung anoda, sarta gas inert diperlukeun (biasana gas Ar) dieusian dina chamber vakum tinggi. Magnét permanén ngabentuk médan magnét gaus 250-350 dina permukaan bahan target, sareng médan éléktromagnétik ortogonal diwangun ku médan listrik tegangan tinggi. Dina pangaruh médan listrik, ionisasi gas Ar kana ion positif jeung éléktron, udagan sarta boga tekanan négatip tangtu, ti udagan ti kutub ku pangaruh médan magnét jeung ngaronjatna kamungkinan ionisasi gas gawé, ngabentuk plasma dénsitas luhur deukeut katoda, Ar ion dina aksi gaya lorentz, nyepetkeun ngapung ka beungeut target, bombarding beungeut target dina speed tinggi, Atom sputtered dina udagan nuturkeun prinsip konversi moméntum jeung ngapung jauh ti beungeut target. kalawan énergi kinétik luhur ka pilem déposisi substrat.
Magnetron sputtering umumna dibagi jadi dua rupa: DC sputtering jeung RF sputtering. Prinsip parabot DC sputtering basajan, sarta laju gancang nalika sputtering logam. Pamakéan sputtering RF leuwih éksténsif, salian sputtering bahan conductive, tapi ogé sputtering bahan non-conductive, tapi ogé sputtering réaktif préparasi oksida, nitrida jeung karbida jeung bahan sanyawa séjén. Upami frékuénsi RF ningkat, éta janten sputtering plasma gelombang mikro. Ayeuna, éléktron cyclotron résonansi (ECR) tipe gelombang mikro sputtering plasma ilahar dipaké.
Magnetron sputtering palapis bahan sasaran:
bahan target sputtering logam, palapis alloy sputtering bahan palapis, keramik sputtering bahan palapis, boride keramik sputtering bahan target, carbide keramik sputtering bahan target, fluorida keramik sputtering bahan target, nitrida keramik sputtering bahan target, oksida keramik udagan, selenide bahan udagan, sputtering bahan keramik silicide keramik sputtering bahan target, sulfida bahan udagan sputtering keramik, Telluride udagan sputtering keramik, udagan keramik séjén, krom-doped silikon oksida udagan keramik (CR-SiO), target indium phosphide (InP), target arsenide kalungguhan (PbAs), target indium arsenide (InAs).
waktos pos: Aug-03-2022