Pamakéan bahan targét anu lega dina sagala rupa profési ngajadikeun paménta pikeun bahan target langkung luhur sareng langkung luhur. Nyaéta Kami bakal sakeudeung ngawanohkeun anjeun naon sarat fungsi primér udagan, hoping pikeun mantuan Anjeun.
Purity: Purity mangrupa salah sahiji indikator fungsi primér udagan, sabab purity udagan boga dampak hébat kana fungsi pilem. Tapi dina prakna, purity tina bahan sasaran teu sarua. Contona, ku tumuwuhna gancang tina profési microelectronics, Ukuran wafer silikon geus dimekarkeun tina 6 ", 8" ka 12 ", sarta lebar wiring geus turun tina 0.5um mun 0.25um, 0.18um komo 0.13um. Sakali 99.995% tina purity target bisa minuhan sarat téhnologis of 0.35UMIC. Persiapan garis 0.18um merlukeun 99.999% atawa malah 99.9999% purity tina bahan target.
Kapadetan: Dina raraga ngurangan porosity dina udagan solid sarta ngaronjatkeun fungsi tina pilem sputtering, udagan biasana diperlukeun pikeun mibanda kapadetan tinggi. Kapadetan target mangaruhan henteu ngan ukur laju sputtering tapi ogé sipat listrik sareng optik film. Nu leuwih luhur dénsitas udagan, nu hadé fungsi film.In Sajaba ti éta, dénsitas jeung kakuatan bahan udagan anu ngaronjat sangkan eta hadé bisa tahan stress termal salila sputtering. Kapadetan ogé salah sahiji indikator fungsional penting zat target.
Eusi najis: pangotor dina udagan padet jeung oksigén jeung uap cai dina pori nu sumber polusi primér tina akumulasi bahan target films.Different keur kaperluan béda boga syarat béda pikeun eusi najis béda. Salaku conto, target alumunium murni sareng alumunium anu dianggo dina industri semikonduktor ngagaduhan syarat khusus pikeun eusi logam alkali sareng eusi unsur radioaktif.
waktos pos: Jun-06-2022