Sakumaha urang terang, metode anu biasa dianggo dina palapis vakum nyaéta transpirasi vakum sareng sputtering ion. Naon bédana antara palapis transpirasi jeung palapis sputtering Lobajalma gaduh patarosan sapertos kitu. Hayu urang bagikeun sareng anjeun bédana antara palapis transpirasi sareng palapis sputtering
Film transpirasi vakum nyaéta pikeun memanaskeun data janten transpirasi kana suhu tetep ku cara pemanasan résistansi atanapi sinar éléktron sareng cangkang laser dina lingkungan kalayan tingkat vakum teu kirang ti 10-2Pa, supados énergi geter termal molekul atanapi atom dina data ngaleuwihan énergi mengikat beungeut, ku kituna loba molekul atawa atom transpirasi atawa nambahan, sarta langsung deposit aranjeunna dina substrat pikeun ngabentuk pilem. Ion sputtering palapis ngagunakeun gerakan remonstrance tinggi ion positif dihasilkeun ku ngurangan gas dina pangaruh médan listrik pikeun bombard udagan salaku katoda, ku kituna atom atawa molekul dina udagan kabur sarta deposit dina beungeut workpiece plated pikeun ngabentuk. film diperlukeun.
Metodeu palapis transpirasi vakum anu paling sering dianggo nyaéta metode pemanasan résistansi. Kauntungannana nyaéta struktur basajan tina sumber pemanasan, béaya rendah sareng operasi anu gampang. Kalemahanna nyaéta henteu cocog pikeun logam refractory sareng média tahan suhu luhur. Pemanasan sinar éléktron sareng pemanasan laser tiasa ngatasi kalemahan pemanasan résistansi. Dina pemanasan sinar éléktron, sinar éléktron fokus dipaké pikeun langsung panas data shelled, sarta énergi kinétik sinar éléktron jadi énergi panas pikeun nyieun transpirasi data. Pemanasan laser ngagunakeun laser kakuatan tinggi salaku sumber pemanasan, tapi kusabab biaya tinggi laser kakuatan tinggi, éta ngan tiasa dianggo dina sajumlah leutik laboratorium panalungtikan.
Kaahlian sputtering béda ti kaahlian transpirasi vakum. Sputtering nujul kana fenomena nu muatan partikel bombard deui ka beungeut (target) awak, ku kituna atom padet atawa molekul anu dipancarkeun tina beungeut cai. Sabagéan ageung partikel anu dipancarkeun nyaéta atom, anu sering disebut atom sputtered. Partikel sputtered dipaké pikeun shelling target tiasa éléktron, ion atawa partikel nétral. Kusabab ion gampang pikeun ménta énergi kinétik diperlukeun dina médan listrik, ion lolobana dipilih salaku partikel shelling.
Prosés sputtering dumasar kana glow discharge, nyaeta, ion sputtering asalna tina ngurangan gas. Kaahlian sputtering anu béda-béda gaduh metode pelepasan glow anu béda. DC dioda sputtering ngagunakeun DC glow ngurangan; Triode sputtering mangrupakeun ngurangan glow dirojong ku katoda panas; RF sputtering ngagunakeun RF glow ngurangan; Magnetron sputtering mangrupakeun ngurangan glow dikawasa ku médan magnét annular.
Dibandingkeun sareng palapis transpirasi vakum, palapis sputtering ngagaduhan seueur kaunggulan. Lamun zat bisa sputtered, utamana unsur jeung sanyawa kalawan titik lebur tinggi na tekanan uap low; The adhesion antara pilem sputtered jeung substrat téh alus; dénsitas pilem tinggi; Ketebalan pilem tiasa dikontrol sareng kaulanganna saé. Karugianna nyaéta alat-alatna rumit sareng ngabutuhkeun alat-alat tegangan tinggi.
Salaku tambahan, kombinasi metode transpirasi sareng metode sputtering nyaéta ion plating. Kaunggulan tina metoda ieu adhesion kuat antara film jeung substrat, laju déposisi tinggi jeung dénsitas luhur film.
waktos pos: May-09-2022