Tšebeliso e pharalletseng ea thepa e shebiloeng mesebetsing e fapaneng e etsa hore tlhoko ea thepa e shebiloeng e phahame le ho feta. E latelang Re tla tsebisa ka bokhuts'oane uena ke eng litlhoko tsa mantlha tsa ts'ebetso ea sepheo, hoping ho o thusa.
Bohloeki: Bohloeki ke e 'ngoe ea matšoao a mantlha a ts'ebetso ea sepheo, hobane ho hloeka ha sepheo ho na le tšusumetso e kholo mosebetsing oa filimi. Empa ha e le hantle, bohloeki ba thepa e reretsoeng ha bo tšoane. Ka mohlala, ka kholo e potlakileng ea mosebetsi oa microelectronics, boholo ba sephaphatha sa silicon bo tsoetse pele ho tloha ho 6 ", 8" ho isa ho 12 ", 'me bophara ba lithapo bo fokotsehile ho tloha 0.5um ho ea ho 0.25um,0.18um esita le 0.13um. Hang ha 99.995% ea bohloeki bo reriloeng e ka fihlela litlhoko tsa theknoloji tsa 0.35UMIC. Ho lokisoa ha mohala oa 0.18um ho hloka 99.999% kapa esita le 99.9999% ea bohloeki ba thepa e reretsoeng.
Density: E le ho fokotsa porosity sebakeng se tiileng le ho ntlafatsa mosebetsi oa filimi ea sputtering, sepheo se atisa ho hlokoa hore se be le sekhahla se phahameng. Boima ba sepheo ha bo ame feela sekhahla sa ho sputtering empa hape le thepa ea motlakase le ea optical ea lifilimi. Ha sepheo sa sepheo se phahame, mosebetsi oa filimi o ntlafala. Ho phaella moo, ho teteana le matla a thepa e reretsoeng ho ile ha eketseha ho etsa hore e khone ho mamella khatello ea mocheso nakong ea ho fafatsa. Density hape ke e 'ngoe ea matšoao a bohlokoa a sebetsang a lintho tse shebiloeng.
Likahare tse sa hloekang: litšila tse sebakeng sa sepheo se tiileng le oksijene le mouoane oa metsi ka har'a li-pores ke mehloli e ka sehloohong ea tšilafalo ea lifilimi tse bokelitsoeng.Lisebelisoa tse fapaneng tse reretsoeng merero e fapaneng li na le litlhoko tse fapaneng bakeng sa litaba tse sa hloekang tse fapaneng. Mohlala, liphofu tse hloekileng tsa aluminium le aluminium alloy tse sebelisoang indastering ea semiconductor li na le litlhoko tse ikhethang bakeng sa litaba tsa tšepe ea alkali le litaba tsa radioactive element.
Nako ea poso: Jun-06-2022