Lisebelisoa tse shebiloeng li na le litlhoko tse phahameng nakong ea tšebeliso, eseng feela bakeng sa bohloeki le boholo ba likaroloana, empa le bakeng sa boholo ba likaroloana tse tšoanang. Litlhoko tsena tse phahameng li etsa hore re ele hloko haholoanyane ha re sebelisa thepa e shebiloeng ea sputtering.
1. Ho itokisa ka ho lla
Ke habohlokoa haholo ho boloka bohloeki ba kamore ea vacuum, haholo-holo tsamaiso ea sputtering. Litlolo, lerōle, le mesaletsa efe kapa efe e tsoang lirafshoeng tse fetileng li ka bokella litšila tse kang metsi, tse amang sekheo ka kotloloho le ho eketsa monyetla oa ho hloleha ha ho etsoa ha filimi. Li-circuits tse khuts'oane, ho pota-pota, libaka tse makukuno tse etsang lifilimi, le litšila tse feteletseng tsa lik'hemik'hale hangata li bakoa ke liphahlo tse sa hloekang, lithunya le liphofu.
E le ho boloka litšobotsi tsa motsoako oa ho roala, khase ea sputtering (argon kapa oksijene) e tlameha ho hloeka le ho omella. Kamora ho kenya substrate ka phaposing ea sputtering, moea o hloka ho ntšoa ho fihlela boemo bo hlokahalang ba vacuum bakeng sa ts'ebetso.
2. Ho hloekisa sepheo
Sepheo sa ho hloekisa sepheo ke ho tlosa lerōle leha e le lefe kapa litšila tse ka bang teng holim'a sepheo.
3. Sepheo sa ho kenya
Ntho ea bohlokoa ka ho fetisisa eo u lokelang ho e ela hloko nakong ea ts'ebetso ea ho kenya thepa e lebisitsoeng ke ho etsa bonnete ba hore ho na le kamano e ntle ea mocheso pakeng tsa thepa e lebisitsoeng le lerako le pholileng la sethunya sa sputtering. Haeba lerako le pholileng kapa poleiti e ka morao e sothehile haholo, e ka baka ho phunyeha kapa ho kobeha nakong ea ho kenya thepa e lebisitsoeng. Ho fetisoa ha mocheso ho tloha ho sepheo sa morao ho ea ho thepa e reretsoeng ho tla ameha haholo, ho fella ka ho se khone ho qhala mocheso nakong ea sputtering, e qetellang e lebisa ho phunyeha kapa ho kheloha ha thepa e lebisitsoeng.
4. Potoloho e khutšoanyane le tlhahlobo ea ho tiisa
Ka mor'a ho kenngoa ha thepa e reretsoeng, hoa hlokahala ho hlahloba potoloho e khutšoanyane le ho tiisoa ha cathode eohle. Ho kgothaletswa ho sebelisa ohmmeter le megohmmeter ho fumana hore na cathode e khutšoanyane. Ka mor'a ho netefatsa hore cathode ha e khuts'oane, ho lemoha ho lutla ho ka etsoa ka ho kenya metsi ka har'a cathode ho fumana hore na ho na le ho lutla.
5. Lintho tse lebeletsoeng pele ho sputtering
Ho kgothaletswa ho sebelisa khase e hloekileng ea argon bakeng sa ho fafatsa pele ho thepa e lebisitsoeng, e ka hloekisang bokaholimo ba thepa e lebisitsoeng. Ho kgothaletswa ho eketsa butle matla a sputtering nakong ea ts'ebetso ea pele ho sputtering bakeng sa thepa e reretsoeng. Matla a thepa ea sepheo sa ceramic
Nako ea poso: Oct-19-2023