Metsoalle e mengata mabapi le tlhokomelo ea sepheo ho na le lipotso tse ngata kapa tse fokolang, morao tjena ho boetse ho na le bareki ba bangata ba buisanang ka tlhokomelo ea mathata a amanang le sepheo, lumella mohlophisi oa RSM hore re arolelane ka sputtering target to maintenance knowledge .
Lipheo tsa sputter li lokela ho bolokoa joang?
1, Tlhokomelo ea sepheo
E le ho qoba potoloho e khuts'oane le li-arcing tse bakoang ke sebaka se sa hloekang nakong ea ts'ebetso ea sputtering, ho hlokahala hore nako le nako u tlose li-sputters tse bokelletsoeng bohareng le mahlakoreng ka bobeli a pina ea sputtering, e leng se thusang basebelisi ho tsoela pele ho sputter ka matla a phahameng a matla.
2、 Sepheo sa polokelo
Re khothaletsa basebelisi ho boloka target (ebang ke tšepe kapa ceramic) ka har'a sephutheloana sa vacuum, haholo-holo sepheo se loketseng se tlameha ho bolokoa sebakeng se hloekileng ho thibela oxidation ea lera e lekanang ho ama boleng bo loketseng. Ha e le ho paka liphofu tsa tšepe, re fana ka maikutlo a hore li lokela ho kenngoa ka mekotleng e hloekileng ea polasetiki bonyane.
3, Ho hloekisa sepheo
Mohato oa pele ke ho hloekisa ka lesela le bonolo la lint le kolobisitsoeng ka har'a acetone;
Mohato oa bobeli o tšoana le oa pele, ho hloekisa ka joala;
Mohato oa 3: hloekisa ka metsi a hloekisitsoeng. Kamora ho hloekisa ka metsi a hloekisitsoeng, sepheo se kenngoa ka ontong ebe se omisoa ka 100 ℃ metsotso e 30. Ho khothalletsoa ho sebelisa "lesela la mahala la lesela" ho hloekisa oxide le liphofu tsa ceramic.
Mohato oa bone ke ho hlatsoa sepheo ka argon ka khatello e phahameng le mongobo o tlaase ho tlosa likaroloana leha e le life tse sa hloekang tse ka bakang arc tsamaisong ea sputtering.
4
Ka mor'a hore sepheo se kenngoe, cathode eohle e hloka ho hlahlojoa bakeng sa potoloho e khutšoanyane le ho tiea. Ho kgothaletswa ho ahlola hore na ho na le potoloho e khutšoanyane ho cathode ka ho sebelisa meter ea ho hanyetsa le megger. Ka mor'a ho netefatsa hore ha ho na potoloho e khutšoanyane ka har'a cathode, tlhahlobo ea ho lutla ha metsi e ka etsoa, 'me metsi a ka kenngoa ka har'a cathode ho fumana hore na ho na le ho tsoa ha metsi.
5、 Ho paka le lipalangoang
Lipehelo tsohle li pakiloe ka mekotleng ea polasetiki e tiisitsoeng ka vacuum e nang le lintho tse thibelang mongobo. Sephutheloana sa ka ntle hangata ke lebokose la lepolanka le nang le lera le khahlanong le ho thulana ho pota-pota ho sireletsa sepheo le sefofane se ka morao ho senya nakong ea lipalangoang le polokelo.
Nako ea poso: Jul-15-2022