Sepheo se na le liphello tse ngata, 'me sebaka sa ntlafatso ea maraka se seholo. E thusa haholo mafapheng a mangata. Hoo e ka bang lisebelisoa tsohle tse ncha tsa sputtering li sebelisa limakenete tse matla ho spiral dielektrone ho potlakisa ionization ea argon ho potoloha sepheo, e leng se bakang keketseho ea monyetla oa ho thulana pakeng tsa sepheo le li-ion tsa argon. Joale ha re shebeng karolo ea sputtering target in vacuum coating.
Ntlafatsa sekhahla sa ho hlatsa. Ka kakaretso, sputtering ea DC e sebelisetsoa ho roala tšepe, ha RF AC sputtering e sebelisoa bakeng sa lisebelisoa tsa makenete tsa ceramic tse sa sebetseng. Molao-motheo oa mantlha ke ho sebelisa khase e khanyang ho otla li-ion tsa argon (AR) holim'a sepheo sa vacuum, 'me li-cations tse ka har'a plasma li tla potlakisa ho potlakela sebakeng se fosahetseng sa elektrode joalo ka thepa e fafalitsoeng. Tšusumetso ena e tla etsa hore thepa ea sepheo e fofe ebe e beha holim'a substrate ho theha filimi.
Ka kakaretso, ho na le litšobotsi tse 'maloa tsa ho roala filimi ka mokhoa oa sputtering: (1) tšepe, alloy kapa insulator e ka etsoa hore e be data ea filimi.
(2) Tlas'a maemo a loketseng a maemo, filimi e nang le sebopeho se tšoanang e ka etsoa ho tsoa ho lipheo tse ngata le tse sa tsitsang.
(3) Motsoako kapa motsoako oa lintho tse shebiloeng le limolek'hule tsa khase li ka hlahisoa ka ho eketsa oksijene kapa likhase tse ling tse sebetsang sepakapakeng sa ho tsoa.
4
(5) Ha e bapisoa le lits'ebetso tse ling, e thusa ho hlahisa lifilimi tse ngata tsa sebaka se seholo.
(6) Likaroloana tse phunyeletsoeng li batla li sa amehe ke matla a khoheli, 'me maemo a sepheo le substrate a ka hlophisoa ka bolokolohi.
Nako ea poso: May-17-2022