Волфрам силицидни комади
Волфрам силицидни комади
Волфрам силицид ВСи2 се користи као материјал за електрични удар у микроелектроници, ранжирање на полисилицијумским жицама, антиоксидациони премаз и отпорни премаз жице. Волфрам силицид се користи као контактни материјал у микроелектроници, са отпорношћу од 60-80μΩцм. Формира се на 1000°Ц. Обично се користи као шант за полисиликонске водове да би се повећала његова проводљивост и брзина сигнала. Слој волфрам силицида се може припремити хемијским таложењем паре, као што је таложење паре. Користите моносилан или дихлоросилан и волфрам хексафлуорид као гас сировине. Депоновани филм је нестехиометријски и захтева жарење да би се трансформисао у проводљивији стехиометријски облик.
Волфрам силицид може заменити ранији волфрамов филм. Волфрам силицид се такође користи као заштитни слој између силицијума и других метала.
Волфрам силицид је такође веома вредан у микроелектромеханичким системима, међу којима се волфрам силицид углавном користи као танак филм за производњу микро кола. У ту сврху, фолија од волфрам силицида може бити нагризана плазмом коришћењем, на пример, силицида.
ИТЕМ | Хемијски састав | |||||
Елемент | W | C | P | Fe | S | Si |
Садржај (теж.%) | 76.22 | 0.01 | 0,001 | 0.12 | 0,004 | Баланс |
Рицх Специал Материалс је специјализован за производњу мете за прскање и могао би да произведе волфрам силицидкомадапрема спецификацијама купаца. За више информација, контактирајте нас.