Сада све више корисника разуме врсте мета ињене примене, али њена подела можда није баш јасна. Сада хајдеРСМ инжењер поделити са ваманека индукција циљева магнетронског распршивања.
Циљ за распршивање: мета премаза за распршивање метала, мета за премазивање распршивањем легуре, мета за премазивање керамичким распршивањем, мета за распршивање боридне керамике, мета за распршивање карбидне керамике, мета за распршивање флуорида, керамичка нитридна мета за распршивање, оксидна керамичка мета за распршивање, оксидна керамичка мета за распршивање керамичка мета за распршивање, сулфидна керамичка мета за распршивање, телуридна керамичка мета за распршивање, друге керамичке мете, керамичка мета са силицијум оксидом допираном хромом (ЦР СиО), мета индијум фосфида (ИНП), мета олово-арсенид (пбас), (мета индијум арсенида).
Магнетронско распршивање се генерално дели на два типа: ДЦ распршивање и РФ распршивање. Принцип ДЦ опреме за распршивање је једноставан, а његова брзина је такође брза када се распршује метал. РФ распршивање се широко користи. Поред распршивања проводних података, може да распршује и непроводне податке. Циљ за распршивање се такође може користити за реактивно распршивање за припрему података о спојевима као што су оксиди, нитриди и карбиди. Ако се РФ фреквенција повећа, то ће постати распршивање микроталасне плазме. Тренутно се најчешће користи микроталасна плазма распршивање електронске циклотронске резонанце (ЕЦР).
Време поста: 26.05.2022