1、 Припрема за прскање
Веома је важно одржавати вакуумску комору, посебно систем за распршивање, чистим. Сваки остатак настао од уља за подмазивање, прашине и претходног премаза ће сакупити водену пару и друге загађиваче, што ће директно утицати на степен вакуума и повећати могућност неуспеха у формирању филма. Кратки спој или лучни лук у циљу, груба површина филма и прекомерни садржај хемијских нечистоћа често су узроковани нечистом комором за распршивање, пиштољем за распршивање и метом. Да би се придржавале карактеристике састава премаза, потребно је очистити и осушити распршени гас (аргон или кисеоник). Након што се супстрат угради у комору за распршивање, ваздух треба да се извуче да би се постигао вакуум који је потребан за процес. Заштитни поклопац у тамном подручју, зид шупљине и суседна површина такође треба да буду чисти. Приликом чишћења вакуумске коморе, залажемо се за коришћење стаклених куглица за третирање прашњавих делова, заједно са компримованим ваздухом да би се уклонили остаци раног прскања око коморе, а затим тихо полирање спољашње површине брусним папиром импрегнисаним алуминијумом. Након полирања газ папир се чисти алкохолом, ацетоном и дејонизованом водом. Заједно се залаже за употребу индустријског усисивача за помоћно чишћење. Мете произведене од метала Гаозхан су упаковане у вакумско затворене пластичне кесе,
Уграђено средство отпорно на влагу. Када користите мету, немојте додиривати мету директно руком. Напомена: када користите мету, носите чисте рукавице за одржавање без длачица. Никада не додирујте мету директно рукама
2、 Чишћење мете
Сврха чишћења мете је уклањање прашине или прљавштине која може постојати на површини мете.
Метална мета се може очистити у четири корака,
Први корак је чишћење меком крпом која не оставља длачице натопљеном ацетоном;
Други корак је сличан првом кораку, чишћење алкохолом;
Корак 3: очистите дејонизованом водом. Након прања дејонизованом водом, ставите мету у рерну и сушите је на 100 ℃ 30 минута.
Чишћење оксидних и керамичких мета врши се „крпом без влакана“.
Четврти корак је испирање мете аргоном под високим притиском и ниским воденим гасом након уклањања прашњавог подручја, како би се уклониле све честице нечистоћа које могу да формирају лук у систему за распршивање.
3、 Циљни уређај
У процесу постављања мете, З важне мере предострожности су да се осигура добра топлотна проводљивост везе између мете и расхладног зида пиштоља за распршивање. Ако је искривљење расхладне летве озбиљно или је искривљење задње плоче озбиљно, циљни уређај ће напукнути или савити, а топлотна проводљивост од задње мете до мете ће бити у великој мери погођена, што ће резултирати неуспехом одвођења топлоте у процесу прскања, а мета ће пукнути или промашити
Да би се обезбедила топлотна проводљивост, слој графитног папира може бити подстављен између зида за хлађење катоде и мете. Обратите пажњу да пажљиво проверите и разјасните равност расхладног зида пиштоља за прскање који се користи како бисте били сигурни да је О-прстен увек на свом месту.
Пошто ће се чистоћа расхладне воде која се користи и прашина која се може појавити током рада опреме таложити у резервоару катодне воде за хлађење, потребно је проверити и очистити катодни резервоар воде за хлађење приликом постављања мете како би се обезбедило несметано циркулацију расхладне воде и да улаз и излаз неће бити блокирани.
Планирано је да неке катоде имају мали простор са анодом, па је приликом уградње мете потребно обезбедити да нема додира или проводника између катоде и аноде, иначе ће доћи до кратког споја.
Погледајте Упутство за руковаоца опреме за информације о томе како правилно управљати метом. Ако у корисничком приручнику нема таквих информација, покушајте да инсталирате уређај у складу са релевантним предлозима које даје Гаозхан метал. Приликом затезања мете, прво затегните један вијак руком, а затим руком затегните други вијак на дијагонали. Понављајте ово док се сви завртњи на уређају не затегну, а затим затегните нечим.
4、 Провера кратког споја и непропусности
Након завршетка циљаног уређаја потребно је проверити кратки спој и заптивеност целе катоде,
Предлаже се да се помоћу мерача отпора утврди да ли постоји кратки спој на катоди
Дискриминација у редовима. Након потврде да нема кратког споја на катоди, може се извршити детекција цурења и вода се може увести у катоду да би се потврдило да ли постоји цурење воде.
5、 Циљно претходно прскање
Претходно распршивање мете заговара чисто распршивање аргона, које може очистити површину мете. Када је мета претходно распршена, заговара се полако повећање снаге распршивања, а стопа повећања снаге керамичке мете је 1,5 ВХ / цм2. Брзина пре распршивања металне мете може бити већа од брзине керамичког блока мете, а разумна стопа повећања снаге је 1,5 ВХ / цм2.
У процесу претходног прскања, морамо проверити лук мете. Време пре прскања је обично око 10 минута. Ако нема појаве лука, стално повећавајте снагу прскања
На постављену снагу. Према искуству, прихватљива З висока снага прскања металне мете је
25 вати / цм2, 10 вати / цм2 за керамичку мету. Молимо погледајте основе подешавања и искуство притиска у вакуумској комори током прскања у корисничком приручнику за употребу система. Генерално, треба обезбедити да температура воде на излазу из расхладне воде буде нижа од 35 ℃, али је важно да се обезбеди да циркулациони систем воде за хлађење може ефикасно да ради
Брза циркулација воде за прехлађење одузима топлоту, што је важна гаранција да се обезбеди континуирано прскање велике снаге. За металне мете генерално се заговара да је проток расхладне воде
Притисак воде од 20лпм је око 5гмп; За керамичке мете, генерално се заговара да је проток воде 30 лпм, а притисак воде око 9 гмп
6、 Циљно одржавање
Да би се спречио кратак спој и стварање лука изазваног нечистим шупљинама у процесу распршивања, потребно је постепено уклањати прскање накупљено у центру и са обе стране стазе за распршивање,
Ово такође помаже корисницима да континуирано прскају при з великој густини снаге
7、 Циљно складиште
Мете које обезбеђује метал Гаозхан су упаковане у двослојне вакуумске пластичне кесе. Залажемо се да корисници чувају мете, металне или керамичке, у вакуум паковању. Конкретно, циљеви везивања треба да се чувају у условима вакуума како би се спречило да оксидација везивног слоја утиче на квалитет везивања. Када је у питању паковање металних мета, залажемо се да З треба паковати у чисте пластичне кесе
Време поста: 13.05.2022