Многи корисници су сигурно чули за производ мете за прскање, али принцип мете за прскање би требао бити релативно непознат. Сада, уредник одБогат специјални материјал (РСМ) дели принципе магнетронског распршивања мете за распршивање.
Ортогонално магнетно поље и електрично поље се додају између распршене циљне електроде (катоде) и аноде, потребни инертни гас (обично Ар гас) се пуни у комору високог вакуума, перманентни магнет формира магнетно поље од 250 ~ 350 Гауса на површину циљних података, а ортогонално електромагнетно поље се формира са високонапонским електричним пољем.
Под дејством електричног поља, Ар гас се јонизује у позитивне јоне и електроне. На мету се додаје одређени негативни високи напон. Ефекат магнетног поља на електроне емитоване са циљног пола и вероватноћа јонизације радног гаса се повећавају, формирајући плазму високе густине у близини катоде. Под дејством Лоренцове силе, Ар јони убрзавају до површине мете и бомбардују површину мете веома великом брзином. Распршени атоми на мети прате принцип конверзије импулса и одлете од површине мете до супстрата са високом кинетичком енергијом за депоновање филмова.
Магнетронско распршивање се генерално дели на два типа: Трибутарно распршивање и РФ распршивање. Принцип опреме за приточно распршивање је једноставан, а брзина је такође брза када се наноси метал. РФ распршивање се широко користи. Поред распршивања проводних материјала, може да распршује и непроводне материјале. Истовремено, он такође спроводи реактивно распршивање за припрему материјала од оксида, нитрида, карбида и других једињења. Ако се РФ фреквенција повећа, то ће постати распршивање микроталасне плазме. Сада се најчешће користи микроталасна плазма распршивање електронске циклотронске резонанце (ЕЦР).
Време поста: 31.05.2022