О примени и принципу технологије распршивања циља, неки купци су консултовали РСМ, сада за овај проблем који више брине, технички стручњаци деле нека специфична сродна знања.
Апликација мете за прскање:
Честице пуњења (као што су јони аргона) бомбардују чврсту површину, узрокујући да површинске честице, као што су атоми, молекули или снопови, побегну са површине објекта, феномен који се назива „прскање“. У премазима магнетронским распршивањем, позитивни јони генерисани јонизацијом аргона обично се користе за бомбардовање чврсте материје (мете), а распршени неутрални атоми се таложе на подлогу (обрадак) да формирају слој филма. Магнетронски премаз има две карактеристике: „ниска температура“ и „брза“.
Принцип магнетронског распршивања:
Ортогонално магнетно поље и електрично поље се додају између распршеног циљног пола (катоде) и аноде, а потребан инертни гас (обично Ар гас) се пуни у комору високог вакуума. Трајни магнет формира магнетно поље од 250-350 Гауса на површини циљаног материјала и формира ортогонално електромагнетно поље са електричним пољем високог напона.
Под дејством електричног поља, Ар гас се јонизује у позитивне јоне и електроне, а на мети постоји одређени негативан висок притисак, тако да на електроне емитоване са циљног пола утиче магнетно поље и вероватноћа јонизације рада. гас се повећава. У близини катоде се формира плазма високе густине, а јони Ар убрзавају до површине мете под дејством Лоренцове силе и великом брзином бомбардују површину мете, тако да распршени атоми на мети излазе са површине мете великом брзином. кинетичке енергије и лете до подлоге да формирају филм по принципу конверзије импулса.
Магнетронско распршивање се генерално дели на две врсте: ДЦ распршивање и РФ распршивање. Принцип опреме за распршивање једносмерне струје је једноставан, а брзина је брза приликом прскања метала. Употреба РФ распршивања је обимнија, поред распршивања проводних материјала, али и распршивања непроводних материјала, али и реактивног прскања препарата оксида, нитрида и карбида и других сложених материјала. Ако се фреквенција РФ повећа, то постаје распршивање микроталасне плазме. Тренутно се уобичајено користи микроталасна плазма распршивање типа електронске циклотронске резонанце (ЕЦР).
Време поста: 01.08.2022