Рицх Специал Материалс Цо., ЛТД да подели Који су захтеви за перформансе циљног материјала

Широка употреба циљног материјала у разним професијама чини потражњу за циљним материјалом све већом. Следеће хоћемо укратко представити ти који су примарни функционални захтеви мете, хопинг да ти помогнем.

Чистоћа: Чистоћа је један од примарних функционалних индикатора мете, јер чистоћа мете има велики утицај на функцију филма. Али у пракси, чистоћа циљног материјала није иста. На пример, са брзим растом професије микроелектронике, величина силицијумске плочице се развила са 6 “, 8” на 12″, а ширина ожичења се смањила са 0,5 ум на 0,25 ум, 0,18 ум и чак 0,13 ум. Једном 99,995% циљне чистоће може задовољити технолошке захтеве од 0,35 УМИЦ. Припрема линије од 0,18ум захтева 99,999% или чак 99,9999% чистоће циљног материјала.

Густина: Да би се смањила порозност у циљној чврстој материји и побољшала функција филма за распршивање, обично се захтева да мета има високу густину. Циљна густина утиче не само на брзину распршивања већ и на електрична и оптичка својства филмова. Што је већа циљна густина, то је боља функција филма. Поред тога, повећана је густина и чврстоћа циљаног материјала како би боље издржао термички стрес током прскања. Густина је такође један од важних функционалних индикатора циљних супстанци.

　　Садржај нечистоћа: нечистоће у циљној чврстој материји и кисеоник и водена пара у порама су примарни извори загађења акумулираних филмова. Различити циљни материјали за различите намене имају различите захтеве за различит садржај нечистоћа. На пример, мете од чистог алуминијума и легура алуминијума које се користе у индустрији полупроводника имају посебне захтеве за садржај алкалних метала и садржај радиоактивних елемената.