Ниобијумски циљни материјали се углавном користе у оптичким премазима, премазивању материјала за површинско инжењерство и индустрији премаза као што су отпорност на топлоту, отпорност на корозију и висока проводљивост. У области оптичког премаза, углавном се примењује у офталмолошким оптичким производима, сочивима, прецизној оптици, премазима велике површине, 3Д премазима и другим аспектима.
Ниобијумски циљни материјал се обично назива гола мета. Прво се заварује на бакарну позадину мете, а затим се распршује како би се атоми ниобијума таложили у облику оксида на материјал супстрата, постижући превлаку од распршивања. Са сталним продубљивањем и ширењем технологије и примене ниобијумских мета, повећали су се захтеви за уједначеност микроструктуре мете ниобијума, који се углавном манифестују у три аспекта: префињеност величине зрна, без очигледне оријентације текстуре и побољшана хемијска чистоћа.
Уједначена дистрибуција микроструктуре и својстава у целој мети је кључна за обезбеђивање перформанси распршивања ниобијумских циљних материјала. Површина ниобијумских мета које се сусрећу у индустријској производњи обично показује правилне обрасце, што у великој мери утиче на перформансе распршивања мета. Како можемо побољшати стопу искоришћења циљева?
Истраживањем је утврђено да је садржај нечистоћа (циљна чистоћа) важан фактор који утиче на чистоћу. Хемијски састав сировина је неуједначен, а нечистоће су обогаћене. Након касније обраде ваљањем, на површини ниобијумског циљаног материјала формирају се правилни узорци; Елиминисањем неравномерне дистрибуције компоненти сировина и обогаћивања нечистоћама може се избећи формирање правилних шара на површини ниобијумских мета. Утицај величине зрна и структурног састава на циљни материјал може бити скоро занемарљив.
Време поста: 19.06.2023