Због високе температурне стабилности, високе отпорности на миграцију електрона и високог коефицијента емисије електрона ватросталних волфрамових легура и легура волфрама високе чистоће се углавном користе за производњу електрода капије, ожичења за повезивање, слојева дифузионих баријера итд. од полупроводника. интегрисана кола, и имају високе захтеве за чистоћу, садржај елемента нечистоће, густина, величина зрна и уједначеност структуре зрна материјала. Хајде сада да погледамо факторе који утичу на припрему мете од волфрама високе чистоће.
1、 Утицај температуре синтеровања
Процес формирања волфрамовог циљног ембриона се углавном врши хладним изостатским пресовањем. Волфрамово зрно ће расти током процеса синтеровања. Раст зрна волфрама ће попунити јаз између граница зрна, чиме се побољшава густина волфрамове мете. Са повећањем времена синтеровања, повећање густине мете волфрама постепено се успорава. Главни разлог је тај што се након вишеструког синтеровања квалитет волфрамове мете није много променио. Пошто је већина празнина на граници зрна испуњена кристалима волфрама, након сваког синтеровања, укупна брзина промене величине волфрамове мете је била веома мала, што је резултирало ограниченим простором за повећање густине волфрамове мете. Са процесом синтеровања, израсла зрна волфрама се попуњавају у празнине, што резултира већом густином мете са мањом величином честица.
2、 Ефекат времена задржавања
На истој температури синтеровања, компактност мете од волфрама ће се побољшати са продужењем времена држања синтеровања. Са продужењем времена држања, величина зрна волфрама ће се повећати, а са продужењем времена држања, време раста величине зрна ће се постепено успоравати, што значи да повећање времена задржавања такође може побољшати перформансе волфрам мета.
3、 Утицај котрљања на циљна својства
Да би се побољшала густина волфрамовог циљаног материјала и добила структура обраде волфрамовог циљаног материјала, ваљање волфрамовог циљаног материјала на средњој температури мора се извршити испод температуре рекристализације. Ако је температура ваљања циљне гредице висока, структура влакана циљне гредице ће бити груба, и обрнуто. Када стопа топлог ваљања достигне више од 95%. Иако ће разлика у структури влакана узрокована различитим оригиналним зрнима или различитим температурама ваљања бити елиминисана, унутрашња структура мете ће формирати релативно уједначену структуру влакана, тако да што је већа брзина обраде топлог ваљања, то су боље перформансе мете
Време поста: 15. фебруар 2023