Главна својства циљаног материјала за распршивање

Сада морамо бити добро упознати са метом, сада се циљно тржиште такође повећава, следеће је главне перформансе мете за прскање које дели уредник из РСМ-а

　　Чистоћа

Чистоћа циљног материјала је један од главних индекса перформанси, јер чистоћа циљног материјала има велики утицај на перформансе танког филма. Међутим, у практичној примени, захтеви за чистоћом циљних материјала нису исти. На пример, са брзим развојем индустрије микроелектронике, величина силицијумског чипа је развијена са 6 ", 8" на 12 инча, а ширина ожичења је смањена са 0,5 ум на 0,25 ум, 0,18 ум или чак 0,13 ум. Раније, чистоћа циљног материјала од 99,995% може задовољити захтеве процеса од 0,35умИЦ. Чистоћа циљног материјала је 99,999% или чак 99,9999% за припрему линија од 0,18ум.

　　Садржај нечистоћа

Нечистоће у циљној чврстој материји и кисеоник и водена пара у порама су главни извори загађења таложења филма. Циљни материјали за различите намене имају различите захтеве за различит садржај нечистоћа. На пример, мете од чистог алуминијума и легура алуминијума које се користе у индустрији полупроводника имају посебне захтеве за садржај алкалних метала и радиоактивних елемената.

　　Густина

Да би се смањила порозност у циљној чврстој материји и побољшале перформансе филма за распршивање, обично је потребна велика густина мете. Густина мете утиче не само на брзину распршивања већ и на електрична и оптичка својства филма. Што је већа циљна густина, то су боље перформансе филма. Поред тога, повећање густине и јачине мете чини циљ да боље издржи топлотни стрес у процесу распршивања. Густина је такође један од кључних индекса учинка циља.

　　Величина зрна и величина зрна

Мета је обично поликристална са величином зрна у распону од микрометра до милиметра. За исту мету, брзина прскања мете са малим зрнима је бржа од оне мете са великим зрнима. Расподела дебљине филмова нанесених метом за распршивање са мањом разликом у величини зрна (уједначена дистрибуција) је уједначенија.