Класификације и примена мета за распршивање магнетрона

　　1. Метода магнетног распршивања:

Магнетронско распршивање се може поделити на ДЦ распршивање, распршивање средње фреквенције и РФ распршивање

А. ДЦ напајање за распршивање је јефтино и густина нанесеног филма је лоша. Генерално, домаће фототермалне и танкослојне батерије се користе са ниском енергијом, а мета прскања је проводљива метална мета.

Б. Енергија РФ распршивања је висока, а мета за распршивање може бити непроводна или проводна мета.

Ц. Мета за распршивање средње фреквенције може бити керамичка или метална мета.

　　2. Класификација и примена мета за распршивање

Постоји много врста мета за прскање, а методе класификације мета су такође различите. По облику се деле на дугачку мету, квадратну мету и округлу мету; Према саставу, може се поделити на металну мету, мету од легуре и мету за керамичко једињење; Према различитим пољима примене, може се поделити на керамичке мете везане за полупроводнике, керамичке мете за снимање, керамичке мете за приказ, итд. Мете за распршивање се углавном користе у електронској и информатичкој индустрији, као што је индустрија складиштења информација. У овој индустрији, мете за распршивање се користе за припрему релевантних танкослојних производа (тврди диск, магнетна глава, оптички диск, итд.). Тренутно. Са континуираним развојем информатичке индустрије, потражња за снимањем средњих керамичких мета на тржишту се повећава. Истраживање и производња мете за снимање медија постали су фокус велике пажње.