Последњих година, са напретком технологије интегрисаних кола (ИЦ), сродне примене интегрисаних кола су се брзо развијале. Мета за распршивање алуминијумске легуре ултра високе чистоће, као помоћни материјал у производњи металних интерконекција интегрисаних кола, постала је врућа тема у недавним домаћим истраживањима. уредник РСМ-а ће нам показати карактеристике мете за прскање од легуре алуминијума високе чистоће.
У циљу даљег побољшања ефикасности распршивања магнетронске мете за распршивање и обезбеђивања квалитета депонованих филмова, велики број експеримената показује да постоје одређени захтеви за састав, микроструктуру и оријентацију зрна мета за распршивање легуре алуминијума ултра високе чистоће.
Величина зрна и оријентација зрна мете имају велики утицај на припрему и својства ИЦ филмова. Резултати показују да се стопа таложења смањује са повећањем величине зрна; За мету за распршивање са истим саставом, брзина распршивања мете са малом величином зрна је већа од оне мете са великом величином зрна; Што је уједначенија величина зрна мете, то је равномернија дистрибуција дебљине нанесених филмова.
Под истим инструментом за распршивање и параметрима процеса, брзина распршивања циља легуре Ал Цу се повећава са повећањем атомске густине, али је генерално стабилна у опсегу. Ефекат величине зрна на брзину распршивања је последица промене атомске густине са променом величине зрна; На брзину таложења углавном утиче оријентација зрна легуре Ал Цу. На основу обезбеђивања пропорција (200) кристалних равни, повећање удела (111), (220) и (311) кристалних равни ће повећати стопу таложења.
Величина зрна и оријентација зрна мета алуминијумске легуре ултра-високе чистоће се углавном прилагођавају и контролишу хомогенизацијом ингота, топлом обрадом и рекристализационим жарењем. Са развојем величине плочице на 20,32 цм (8 ин) и 30,48 цм (12 ин), циљна величина се такође повећава, што поставља веће захтеве за мете за распршивање алуминијумске легуре ултра високе чистоће. Да би се обезбедио квалитет филма и принос, параметри циљне обраде морају бити строго контролисани како би циљна микроструктура била уједначена, а оријентација зрна мора имати јаке (200) и (220) равне текстуре.
Време поста: 30.06.2022