Недавно су многи пријатељи питали о карактеристикама мета за распршивање молибдена. У електронској индустрији, како би се побољшала ефикасност распршивања и обезбедио квалитет депонованих филмова, који су захтеви за карактеристике мета за распршивање молибдена? Сада ће нам то објаснити технички стручњаци из РСМ-а.
1. Чистоћа
Висока чистоћа је основни карактеристични захтев за мету за распршивање молибдена. Што је већа чистоћа мете молибдена, то су боље перформансе распршеног филма. Генерално, чистоћа мете за распршивање молибдена треба да буде најмање 99,95% (масени удео, исти у наставку). Међутим, са сталним побољшањем величине стаклене подлоге у ЛЦД индустрији, потребно је да се продужи дужина ожичења и да се ширина линије буде тања. Да би се обезбедила уједначеност филма и квалитет ожичења, потребно је у складу са тим повећати и чистоћа мете за распршивање молибдена. Према томе, у складу са величином стаклене подлоге од распршеног стакла и окружења за употребу, потребно је да чистоћа циља за распршивање молибдена буде 99,99% – 99,999% или чак већа.
Циљ за распршивање молибдена се користи као катодни извор у распршивању. Нечистоће у чврстом стању и кисеоник и водена пара у порама су главни извори загађења депонованих филмова. Поред тога, у електронској индустрији, јер јони алкалних метала (На, К) лако постају мобилни јони у изолационом слоју, перформансе оригиналног уређаја су смањене; Елементи као што су уранијум (У) и титанијум (ТИ) ће бити ослобођени α рендгенским зракама, што ће резултирати благим кваром уређаја; Јони гвожђа и никла ће изазвати цурење интерфејса и повећање кисеоника. Стога, у процесу припреме мете за распршивање молибдена, ови елементи нечистоће морају бити строго контролисани како би се њихов садржај у мети свео на минимум.
2. Величина зрна и дистрибуција величине
Генерално, мета за распршивање молибдена је поликристална структура, а величина зрна може да се креће од микрона до милиметра. Експериментални резултати показују да је брзина прскања мете са финим зрном већа од оне са крупнозрном метом; За мету са малом разликом у величини зрна, расподела дебљине нанесеног филма је такође равномернија.
3. Кристална оријентација
Пошто је циљне атоме лако преферирано распршити дуж правца најближег распореда атома у хексагоналном правцу током распршивања, како би се постигла највећа брзина распршивања, брзина распршивања се често повећава променом кристалне структуре мете. Правац кристала мете такође има велики утицај на уједначеност дебљине распршеног филма. Због тога је веома важно да се добије одређена кристално оријентисана циљна структура за процес распршивања филма.
4. Згушњавање
У процесу распршивања премаза, када се бомбардује мета за распршивање мале густине, гас који постоји у унутрашњим порама мете се изненада ослобађа, што доводи до прскања честица или честица мете велике величине, или се бомбардује филмски материјал секундарним електронима након формирања филма, што резултира прскањем честица. Појава ових честица ће смањити квалитет филма. Да би се смањиле поре у чврстој мети и побољшале перформансе филма, генерално се захтева да мета за распршивање има велику густину. За циљ за распршивање молибдена, његова релативна густина треба да буде већа од 98%.
5. Везивање мете и шасије
Генерално, мета за распршивање молибдена мора бити повезана са шасијом од бакра без кисеоника (или алуминијума и других материјала) пре распршивања, тако да је топлотна проводљивост мете и шасије добра током процеса распршивања. Након везивања, ултразвучна инспекција се мора извршити како би се осигурало да је површина која се не везује мања од 2%, како би се испунили захтеви распршивања велике снаге без отпадања.
Време поста: 19.07.2022