Као што сви знамо, тренд развоја технологије циљаних материјала уско је повезан са трендом развоја филмске технологије у индустрији примене на нижем току. Са технолошким унапређењем филмских производа или компоненти у индустрији примене, циљна технологија би такође требало да се промени. На пример, произвођачи Иц-а су се недавно фокусирали на развој бакарног ожичења ниске отпорности, за које се очекује да ће значајно заменити оригиналну алуминијумску фолију у наредних неколико година, тако да ће развој бакарних мета и њихових захтеваних мета баријера бити хитан.
Поред тога, последњих година, екран са равним екраном (ФПД) је у великој мери заменио тржиште рачунара и телевизора засновано на катодној цеви (ЦРТ). Такође ће значајно повећати техничку и тржишну потражњу за ИТО циљевима. А ту је и технологија складиштења. Потражња за чврстим дисковима велике густине и великим капацитетом и дисковима велике густине који се могу брисати наставља да расте. Све ово је довело до промена у потражњи за циљним материјалима у индустрији примене. У наставку ћемо представити главне области примене циља и тренд развоја циља у овим областима.
1. Микроелектроника
У свим индустријама примене, индустрија полупроводника има најстроже захтеве квалитета за филмове за распршивање циља. Сада су произведене силиконске плочице од 12 инча (300 епистакса). Ширина интерконекције се смањује. Захтеви произвођача силицијумских плочица за циљне материјале су великих размера, високе чистоће, ниске сегрегације и финог зрна, што захтева да циљни материјали имају бољу микроструктуру. Пречник кристалних честица и униформност циљног материјала се сматрају кључним факторима који утичу на брзину таложења филма.
У поређењу са алуминијумом, бакар има већу отпорност на електромобилност и нижу отпорност, што може задовољити захтеве технологије проводника у субмикронском ожичењу испод 0,25ум, али доноси друге проблеме: ниску чврстоћу приањања између бакра и материјала органског медија. Штавише, лако је реаговати, што доводи до корозије бакарног интерконекта и прекида кола током употребе чипа. Да би се решио овај проблем, између бакра и диелектричног слоја треба поставити заштитни слој.
Циљни материјали који се користе у слоју баријере међуповезивања бакра укључују Та, В, ТаСи, ВСи, итд. Али Та и В су ватростални метали. Релативно је тешко направити, а легуре као што су молибден и хром се проучавају као алтернативни материјали.
2. За екран
Екран са равним екраном (ФПД) је током година у великој мери утицао на тржиште компјутерских монитора и телевизора заснованих на катодној цеви (ЦРТ), а такође ће покретати технологију и потражњу тржишта за ИТО циљним материјалима. Данас постоје две врсте ИТО мета. Једна је употреба нанометарског стања индијум оксида и праха калајног оксида након синтеровања, друга је употреба циља легуре индијум калаја. ИТО филм се може произвести ДЦ реактивним распршивањем на мети легуре индијум-калај, али ће површина мете оксидирати и утицати на брзину распршивања, а тешко је добити мету легуре велике величине.
Данас је генерално усвојен први метод за производњу ИТО циљног материјала, а то је премаз распршивањем реакцијом магнетронског распршивања. Има брзу стопу таложења. Дебљина филма се може прецизно контролисати, проводљивост је висока, конзистенција филма је добра, а адхезија подлоге је јака. Али циљни материјал је тешко направити, јер се индијум оксид и калај оксид не синтерују лако заједно. Генерално, ЗрО2, Би2О3 и ЦеО се бирају као адитиви за синтеровање, а циљни материјал са густином од 93%~98% теоријске вредности може се добити. Перформансе ИТО филма формираног на овај начин имају одличан однос са адитивима.
Отпорност блокирања ИТО филма добијеног употребом таквог циљаног материјала достиже 8,1×10н-цм, што је близу отпорности чистог ИТО филма. Величина ФПД и проводног стакла је прилично велика, а ширина проводног стакла може достићи чак 3133 мм. Да би се побољшала употреба циљних материјала, развијени су ИТО циљни материјали различитих облика, као што је цилиндрични облик. 2000. године, Национална комисија за планирање развоја и Министарство науке и технологије укључили су ИТО велике циљеве у Смернице за кључне области информационе индустрије које су тренутно приоритетне за развој.
3. Употреба складиштења
Што се тиче технологије складиштења, развој чврстих дискова велике густине и великог капацитета захтева велики број џиновских релуктантних филмских материјала. Вишеслојни композитни филм ЦоФ~Цу је широко коришћена структура џиновског релуктантног филма. Циљни материјал од легуре ТбФеЦо потребан за магнетни диск је још увек у даљем развоју. Магнетни диск произведен са ТбФеЦо има карактеристике великог капацитета складиштења, дугог века трајања и поновљене могућности брисања без контакта.
Меморија за промену фазе (ПЦМ) на бази антимона германијум-телурида показала је значајан комерцијални потенцијал, постаје део НИТИ флеш меморије и ДРАМ тржиште алтернативне технологије складиштења, међутим, у имплементацији која се брже смањује, један од изазова на путу постојања је недостатак ресетовања тренутна производња се може додатно спустити потпуно затворена јединица. Смањење струје ресетовања смањује потрошњу енергије меморије, продужава животни век батерије и побољшава пропусни опсег података, што су све важне карактеристике данашњих високо преносивих потрошачких уређаја усмерених на податке.
Време поста: 09.08.2022