Као што сви знамо, постоји много спецификација мета за распршивање, а њихова поља примене су такође веома широка. Врсте мета које се обично користе у различитим областима такође су различите. Хајде да данас са уредником РСМ-а научимо о класификацији циљних апликационих поља за распршивање!
1、 Дефиниција мете за прскање
Прскање је једна од главних технологија за припрему танкослојних материјала. Користи јоне које производи јонски извор за убрзавање и окупљање у вакууму да би формирао сноп јона велике брзине, бомбардовао чврсту површину, а јони размењују кинетичку енергију са атомима на чврстој површини, тако да атоми на чврстој површини површине се одвајају од чврсте материје и наносе на површину подлоге. Бомбардована чврста материја је сировина за припрему танког филма депонованог распршивањем, који се назива мета за распршивање.
2、 Класификација циљних поља примене за распршивање
1. Полупроводничка мета
(1) Уобичајени циљеви: уобичајени циљеви у овој области укључују метале високе тачке топљења као што су тантал / бакар / титанијум / алуминијум / злато / никл.
(2) Употреба: углавном се користи као кључне сировине за интегрисана кола.
(3) Захтеви за перформансе: високи технички захтеви за чистоћу, величину, интеграцију итд.
2. Мета за екран са равним екраном
(1) Уобичајене мете: уобичајене мете у овој области укључују алуминијум / бакар / молибден / никл / ниобијум / силицијум / хром, итд.
(2) Употреба: ова врста мете се углавном користи за разне врсте филмова велике површине као што су телевизори и нотебоок рачунари.
(3) Захтеви за перформансе: високи захтеви за чистоћу, велику површину, униформност итд.
3. Циљни материјал за соларне ћелије
(1) Уобичајени циљеви: алуминијум / бакар / молибден / хром /ИТО / Та и други циљеви за соларне ћелије.
(2) Употреба: углавном се користи у „слоју прозора“, слоју баријере, електроди и проводном филму.
(3) Захтеви за перформансе: високи технички захтеви и широк опсег примене.
4. Мета за складиштење информација
(1) Уобичајене мете: уобичајене мете кобалта / никла / феролегура / хрома / телура / селена и других материјала за складиштење информација.
(2) Употреба: ова врста циљаног материјала се углавном користи за магнетну главу, средњи слој и доњи слој оптичког погона и оптичког диска.
(3) Захтеви за перформансе: потребна је велика густина складиштења и велика брзина преноса.
5. Циљ за модификацију алата
(1) Уобичајене мете: уобичајене мете као што су титанијум / цирконијум / легура алуминијума хрома модификована алатима.
(2) Употреба: обично се користи за површинско јачање.
(3) Захтеви за перформансе: захтеви за високе перформансе и дуг радни век.
6. Мете за електронске уређаје
(1) Уобичајене мете: уобичајене мете од легуре алуминијума / силицида за електронске уређаје
(2) Намена: генерално се користи за танкослојне отпорнике и кондензаторе.
(3) Захтеви за перформансе: мала величина, стабилност, ниски температурни коефицијент отпора
Време поста: 27.07.2022