Предности цилиндричних и планарних магнетронских мета за распршивање

Технички консултант РСМ-а ће са вама поделити предности цилиндричних и планарних магнетронских мета за распршивање? У поређењу са другим магнетронским метама за распршивање, цилиндричне и планарне мете за распршивање магнетрона задржавају предности добре униформности премаза правоугаоних равних мета и могу максимално искористити мете на следећа два начина:

(1) Када две групе (четири) прстенастих јама на површини мете достигну одређену дубину, циљно језгро (магнетни део) може да се ротира за 45 ° у односу на циљну цев, тако да друге области на циљној цеви који нису кородирани могу се користити;

(2) Када је циљно језгро цилиндричне и планарне мете за распршивање магнетрона дизајнирано као ротирајуће циљно језгро (циљно језгро се ротира током распршивања), површина мете се може равномерно распршити слој по слој без удубљења. У овом тренутку, мета ће се користити најефикасније, а стопа искоришћења мете може да достигне 50% ~ 60% Када је циљни материјал племенити метал, ово је очигледно од великог значаја.

Коришћењем принципа магнета са снопом у коаксијалној цилиндричној мети за распршивање магнетрона за решавање проблема крајњег магнетног поља, правоугаона равна мета се може трансформисати у цилиндричну и равну мету за распршивање магнетрона, мета може максимизирати стопу искоришћења мете задржавајући добру униформност премаза правоугаоне равне мете Како би се побољшале економске користи.