Tani gjithnjë e më shumë përdorues kuptojnë llojet e objektivave dheaplikimet e tij, por nënndarja e tij mund të mos jetë shumë e qartë. Tani le tëinxhinier RSM ndaj me judisa induksione e objektivave të spërkatjes së magnetronit.
Objektivi i spërkatjes: objektivi i veshjes me spërkatje metalike, objektivi i veshjes me spërkatje të aliazhit, objektivi i veshjes me spërkatje qeramike, objektivi i spërkatjes së qeramikës boride, objektivi i spërkatjes së qeramikës karabit, objektivi i spërkatjes së qeramikës me fluor, objektivi i spërkatjes së qeramikës nitride, objektivi i spërkatjes së qeramikës nitride, objektivi për spërkatje nga qeramika Objektivi i spërkatjes së qeramikës, objektivi i spërkatjes së qeramikës sulfide, objektivi i spërkatjes së qeramikës teluride, objektivat e tjera qeramike, objektivi qeramik i oksidit të silikonit të dopuar me krom (CR SiO), objektivi i fosfidit të indiumit (INP), objektivi i arsenidit të plumbit (pbas), objektivi i arsenidit të indit (InAs).
Gërmimi me magnet ndahet përgjithësisht në dy lloje: spërkatje DC dhe spërkatje RF. Parimi i pajisjeve të spërkatjes DC është i thjeshtë, dhe shpejtësia e tij është gjithashtu e shpejtë kur spërkatni metalin. Gërmimi RF përdoret gjerësisht. Përveç spërkatjes së të dhënave përçuese, ai gjithashtu mund të spërkat të dhëna jopërçuese. Objektivi i spërkatjes mund të përdoret gjithashtu për spërkatje reaktive për të përgatitur të dhëna të përbërjes si oksidet, nitridet dhe karbidet. Nëse frekuenca RF rritet, ajo do të bëhet spërkatje e plazmës me mikrovalë. Aktualisht, përdoret zakonisht spërkatja e plazmës me mikrovalë të rezonancës së ciklotronit elektronik (ECR).
Koha e postimit: Maj-26-2022