Objektivi ka një treg të gjerë, zonë aplikimi dhe zhvillim të madh në të ardhmen. Për t'ju ndihmuar të kuptoni më mirë funksionet e synuara, këtu më poshtë inxhinieri RSM do të prezantojë shkurtimisht kërkesat kryesore funksionale të objektivit.
Pastërtia: pastërtia është një nga treguesit kryesorë funksionalë të objektivit, sepse pastërtia e objektivit ka një ndikim të madh në funksionin e filmit. Megjithatë, në zbatimin praktik, kërkesat e pastërtisë së objektivit janë gjithashtu të ndryshme. Për shembull, me zhvillimin e shpejtë të industrisë së mikroelektronikës, madhësia e meshës së silikonit zgjerohet nga 6 “në 8″ në 12”, dhe gjerësia e instalimeve elektrike zvogëlohet nga 0.5um në 0.25um, 0.18um apo edhe 0.13um. Më parë, 99,995% e pastërtisë së synuar mund të plotësojë kërkesat e procesit të 0,35umic, ndërsa përgatitja e linjave 0,18um kërkon 99,999% ose edhe 99,9999% të pastërtisë së synuar.
Përmbajtja e papastërtive: papastërtitë në trupat e ngurtë të synuar dhe oksigjeni dhe avujt e ujit në pore janë burimet kryesore të ndotjes së filmave të depozituar. Objektivat për qëllime të ndryshme kanë kërkesa të ndryshme për përmbajtje të ndryshme papastërtie. Për shembull, objektivat e aluminit të pastër dhe lidhjeve të aluminit të përdorura në industrinë gjysmëpërçuese kanë kërkesa të veçanta për përmbajtjen e metaleve alkali dhe përmbajtjen e elementit radioaktiv.
Dendësia: për të reduktuar poret në lëndën e ngurtë të synuar dhe për të përmirësuar funksionin e filmit të spërkatjes, objektivi zakonisht kërkohet të ketë densitet të lartë. Dendësia e objektivit jo vetëm që ndikon në shpejtësinë e spërkatjes, por gjithashtu ndikon në funksionet elektrike dhe optike të filmit. Sa më i lartë të jetë densiteti i synuar, aq më i mirë është funksioni i filmit. Për më tepër, dendësia dhe forca e objektivit përmirësohen në mënyrë që objektivi të pranojë më mirë stresin termik në procesin e spërkatjes. Dendësia është gjithashtu një nga treguesit kryesorë funksionalë të objektivit.
Koha e postimit: Maj-20-2022