Karakteristikat kryesore të spërkatjes së materialit të synuar

Ne duhet të jemi shumë të njohur me objektivin tani, tani tregu i synuar po rritet gjithashtu, më poshtë është ajo që është performanca kryesore e objektivit të spërkatjes që ndahet nga redaktori nga RSM

　　Pastërtia

Pastërtia e materialit të synuar është një nga indekset kryesore të performancës, sepse pastërtia e materialit të synuar ka një ndikim të madh në performancën e filmit të hollë. Megjithatë, në aplikimin praktik, kërkesat e pastërtisë së materialeve të synuara nuk janë të njëjta. Për shembull, me zhvillimin e shpejtë të industrisë së mikroelektronikës, madhësia e çipit të silikonit është zhvilluar nga 6 ", 8 "në 12" dhe gjerësia e instalimeve elektrike është zvogëluar nga 0.5um në 0.25um, 0.18um ose edhe 0.13um. Më parë, pastërtia e materialit të synuar 99,995% mund të plotësojë kërkesat e procesit prej 0,35umIC. Pastërtia e materialit të synuar është 99,999% ose edhe 99,9999% për përgatitjen e linjave 0,18um.

　　Përmbajtja e papastërtive

Papastërtitë në lëndën e ngurtë të synuar dhe oksigjeni dhe avujt e ujit në pore janë burimet kryesore të ndotjes së depozitimit të filmit. Materialet e synuara për qëllime të ndryshme kanë kërkesa të ndryshme për përmbajtje të ndryshme papastërtie. Për shembull, objektivat e aluminit të pastër dhe të lidhjeve të aluminit të përdorura në industrinë e gjysmëpërçuesve kanë kërkesa të veçanta për përmbajtjen e metaleve alkali dhe elementeve radioaktive.

　　Dendësia

Për të reduktuar porozitetin në lëndën e ngurtë të synuar dhe për të përmirësuar performancën e filmit spërkatës, zakonisht kërkohet densitet i lartë i objektivit. Dendësia e objektivit ndikon jo vetëm në shpejtësinë e spërkatjes, por edhe në vetitë elektrike dhe optike të filmit. Sa më e lartë të jetë dendësia e synuar, aq më e mirë është performanca e filmit. Për më tepër, rritja e densitetit dhe forcës së objektivit e bën objektivin të përballojë më mirë stresin termik në procesin e spërkatjes. Dendësia është gjithashtu një nga indekset kryesore të performancës së objektivit.

　　Madhësia e kokrrës dhe shpërndarja e madhësisë së kokrrizave

Objektivi është zakonisht polikristalor me madhësi kokrriza që varion nga mikrometri në milimetër. Për të njëjtin objektiv, shkalla e spërkatjes së objektivit me kokrra të vogla është më e shpejtë se ajo e objektivit me kokrra të mëdha. Shpërndarja e trashësisë së filmave të depozituar nga objektivi spërkatës me diferencë më të vogël të madhësisë së kokrrizave (shpërndarje uniforme) është më uniforme.