Siç e dimë të gjithë, avullimi me vakum dhe spërkatja e joneve përdoren zakonisht në veshjen me vakum. Cili është ndryshimi midis veshjes së avullimit dhe veshjes me spërkatje? Më pas, ekspertët teknikë nga RSM do të ndajnë me ne.
Veshja e avullimit me vakum është ngrohja e materialit që do të avullohet në një temperaturë të caktuar me anë të ngrohjes me rezistencë ose me rreze elektronike dhe bombardimi me lazer në një mjedis me një shkallë vakumi jo më pak se 10-2 Pa, në mënyrë që energjia e dridhjeve termike të molekulave ose atomet në material tejkalojnë energjinë lidhëse të sipërfaqes, kështu që një numër i madh molekulash ose atomesh avullojnë ose sublimohen, dhe drejtpërdrejt precipitojnë në substrat për të formuar një shtresë. Veshja e spërkatjes së joneve përdor lëvizjen me shpejtësi të lartë të joneve pozitive të krijuara nga shkarkimi i gazit nën veprimin e fushës elektrike për të bombarduar objektivin si katodë, në mënyrë që atomet ose molekulat në objektiv të shpëtojnë dhe të precipitojnë në sipërfaqen e pjesës së punës të lyer për të formuar filmin e kërkuar.
Metoda më e përdorur e veshjes së avullimit me vakum është ngrohja me rezistencë, e cila ka avantazhet e strukturës së thjeshtë, kostos së ulët dhe funksionimit të përshtatshëm; Disavantazhi është se nuk është i përshtatshëm për metale zjarrduruese dhe materiale dielektrike rezistente ndaj temperaturës së lartë. Ngrohja me rreze elektronike dhe ngrohja me lazer mund të kapërcejnë të metat e ngrohjes me rezistencë. Në ngrohjen me rreze elektronike, rrezja e fokusuar e elektroneve përdoret për të ngrohur drejtpërdrejt materialin e bombarduar dhe energjia kinetike e rrezes elektronike bëhet energji termike, e cila e bën materialin të avullojë. Ngrohja me lazer përdor lazer me fuqi të lartë si burim ngrohjeje, por për shkak të kostos së lartë të lazerit me fuqi të lartë, aktualisht mund të përdoret vetëm në disa laboratorë kërkimor.
Teknologjia e spërkatjes është e ndryshme nga teknologjia e avullimit me vakum. "Sputtering" i referohet fenomenit që grimcat e ngarkuara bombardojnë sipërfaqen e ngurtë (objektivin) dhe bëjnë që atomet ose molekulat e ngurta të dalin nga sipërfaqja. Shumica e grimcave të emetuara janë në gjendje atomike, e cila shpesh quhet atome të spërkatura. Grimcat e spërkatura të përdorura për të bombarduar objektivin mund të jenë elektrone, jone ose grimca neutrale. Për shkak se jonet janë të lehta për t'u përshpejtuar nën fushën elektrike për të marrë energjinë e kërkuar kinetike, shumica e tyre përdorin jonet si grimca të bombarduara. Procesi i spërkatjes bazohet në shkarkimin e shkëlqimit, domethënë, jonet e spërkatjes vijnë nga shkarkimi i gazit. Teknologjitë e ndryshme të spërkatjes miratojnë mënyra të ndryshme shkarkimi të shkëlqimit. Gërmimi i diodës DC përdor shkarkimin e shkëlqimit DC; Spërkatja me triodë është një shkarkesë shkëlqimi e mbështetur nga katoda e nxehtë; Spërkatja me RF përdor shkarkimin e shkëlqimit RF; Shpërthimi i magnetronit është një shkarkesë shkëlqimi e kontrolluar nga një fushë magnetike unazore.
Krahasuar me veshjen e avullimit me vakum, veshja me spërkatje ka shumë përparësi. Për shembull, çdo substancë mund të spërkatet, veçanërisht elementët dhe përbërjet me pikë shkrirjeje të lartë dhe presion të ulët avulli; Ngjitja midis filmit të spërkatur dhe nënshtresës është e mirë; Dendësi e lartë e filmit; Trashësia e filmit mund të kontrollohet dhe përsëritshmëria është e mirë. Disavantazhi është se pajisjet janë komplekse dhe kërkojnë pajisje të tensionit të lartë.
Përveç kësaj, kombinimi i metodës së avullimit dhe metodës së spërkatjes është plating jon. Përparësitë e kësaj metode janë se filmi i përftuar ka ngjitje të fortë me nënshtresën, shkallë të lartë të depozitimit dhe densitet të lartë të filmit.
Koha e postimit: Korrik-20-2022