Filimka khafiifka ah ee bartilmaameedka dahaarka leh waa qaab gaar ah. Jihada gaarka ah ee dhumucda, miisaanku aad ayuu u yar yahay, kaas oo ah tiro yar oo la cabbiri karo. Intaa waxaa dheer, sababtoo ah muuqaalka iyo is-dhexgalka dhumucda filimka, sii wadida walxaha ayaa joojiya, taas oo ka dhigaysa xogta filimka iyo xogta bartilmaameedku waxay leeyihiin sifooyin caadi ah oo kala duwan. mabda'a iyo xirfadaha daahan sputtering.
一, Mabda'a dahaarka sputtering
Xirfadda dahaadhida dahaadhida waa in la isticmaalo muuqaalka bartilmaameedka ion qolofka, atamka bartilmaameedka ah waxa lagu garaacay dhacdada loo yaqaan sputtering. Atomyada lagu kaydiyo dusha sare ee substrate-ka waxaa loo yaqaannaa dahaadhka sputtering. Guud ahaan, ionization gaaska waxaa soo saara dheecaan gaas ah, iyo ion-yada togan waxay duqeeyaan bartilmaameedka cathode ee xawaaraha sare iyada oo la adeegsanayo beer koronto, iyagoo garaacaya atamka ama molecules-ka bartilmaameedka cathode, oo u duulaya dusha sare ee substrate-ka si loogu shubo filim. Si fudud u hadla, dahaarka sputtering wuxuu isticmaalaa cadaadis hoose oo gaaska dhalaalka ah si uu u dhaliyo ions
Guud ahaan, qalabka dhejinta filimka sputtering waxaa lagu qalabeeyaa laba electrodes oo ku jira qolka dheecaanka vacuum, iyo bartilmaameedka cathode wuxuu ka kooban yahay xogta daahan. Qolka faakuumka waxaa ka buuxa gaaska argon oo leh cadaadis 0.1 ~ 10Pa. Dheecaan dhalaalku wuxuu ku dhacaa cathode ee hoos yimaada ficilka tamarta sare ee taban ee 1 ~ 3kV dc ama rf voltage of 13.56mhz. Argon ions waxay duqeeyaan dusha bartilmaameedka waxayna keenaan atamka bartilmaameedka ah ee la jeexjeexay inay ku ururaan substrate-ka.
二, Tilmaamaha xirfadaha dahaarka ee dahaadhida
1. Xawaaraha isugaynta degdega ah
Farqiga u dhexeeya xawaaraha sare ee magnetron sputtering electrode iyo labada marxaladood ee dhaqameedku waa in magnetka lagu hagaajiyay meel ka hooseysa bartilmaameedka, sidaas darteed goobta magnetka ee xiran waxay ku dhacdaa dusha sare ee bartilmaameedka. Awoodda lorentz ee elektarooniga waxay u socotaa bartamaha. oo ka mid ah goobta magnetic kala duwan. Saamaynta diiradda la saaray awgeed, elektaroonnada ayaa wax yar ka baxsada. Beerta magnetic heterogeneous waxay ku wareegtaa dusha sare ee bartilmaameedka, iyo electrons-ka labaad ee lagu qabtay garoonka magnetic heterogeneous waxay isku dhacaan molecules gaaska si isdaba joog ah, taas oo hagaajinaysa heerka beddelka sare ee molecules gaaska.Sidaas darteed, xawaaraha sare ee magnetron sputtering wuxuu isticmaalaa awood hooseeya, laakiin waxay heli kartaa hufnaan daahan weyn, oo leh sifooyin dareere ku habboon.
2. Heerkulka substrate waa hooseeyo
Xawaaraha sare ee magnetron sputtering, oo sidoo kale loo yaqaan sputtering heerkulka hooseeya. Sababta ayaa ah in qalabku uu isticmaalo dareere ku jira meel bannaan oo koronto-magneteed ah oo toos ah midba midka kale. Elektroonada sare ee ka dhaca banaanka bartilmaameedka, midba midka kale. Marka la eego ficilka goobta elektromagnetic-ka tooska ah, waxay ku xidhan tahay meel u dhow dusha bartilmaameedka waxayna u socotaa wadada runway ee xariiq wareeg ah, si isdaba joog ah u garaaca molecules gaaska si ay ionize molecules gaaska kuuskuus soo noqnoqda, ilaa tamartoodu ay ku dhowdahay inay si buuxda u lunto ka hor intaanay ka baxsan karin dusha bartilmaameedka ee u dhow substrate-ka. Sababtoo ah tamarta elektarooniga ah ayaa aad u hooseeya, heerkulka bartilmaameedku aad uma sarreeyo. Taasi waa ku filan si ay uga hortagto kor u kaca heerkulka substrate-ka ee ay keento bamka tamarta-sare ee elektarooniga ah ee tallaalka diode caadiga ah, kaas oo dhamaystiraya cryogenization.
3, tiro balaadhan oo ah dhismayaasha xuub
Qaab dhismeedka filimada khafiifka ah ee lagu helo uumi-baxa faakuumka iyo kaydinta duritaanku aad ayuu uga duwan yahay kan lagu helo khafiifinta cufan cufan. Si ka duwan kuwa adag ee guud ahaan jira, kuwaas oo lagu sifeeyay asal ahaan qaab dhismeed isku mid ah oo saddex geesood ah, filimada lagu kaydiyo wajiga gaaska ayaa loo kala saaraa qaab dhismeedyo kala duwan. Filimada khafiifka ah waa columnar waxaana lagu baari karaa iyadoo la eegayo microscopy elektarooniga ah. Kobaca tiirarka filimka waxaa sababa dusha sare ee asalka ah ee substrate-ka iyo hooska yar ee qaybaha caanka ah ee substrate-ka. Si kastaba ha ahaatee, qaabka iyo cabbirka tiirka ayaa aad u kala duwan sababtoo ah heerkulka substrate-ka, kala firdhisanaanta dusha sare ee atamka is dulsaaran, xabaasha atamyada wasakhda ah iyo dhacdada Xagalka atamka shilka marka loo eego dusha sare ee substrate. Heerkulka heerkulka xad-dhaafka ah, filimka khafiifka ah wuxuu leeyahay qaab-dhismeed fibre ah, cufnaanta sare, oo ka kooban kiristaalo tiirar wanaagsan, kaas oo ah qaabka gaarka ah ee filimka sputtering.
Cadaadiska qulqulka iyo xawaaraha duubista filimka ayaa sidoo kale saameeya qaabka filimka. Sababtoo ah molecules gaasku waxay leeyihiin saamaynta xakamaynta kala firdhisanaanta atamka ee dusha sare ee substrate-ka, saamaynta cadaadiska sare ee qulqulka ayaa ku habboon hoos u dhaca heerkulka substrate ee qaabka. Sidaa darteed, filimada dabada leh ee ay ku jiraan miro yaryar ayaa lagu heli karaa cadaadis sare. Filimkan yar yar ee cabbirka hadhuudhku wuxuu ku habboon yahay sifaynta, xidhashada caabbinta, adkaynta dusha sare iyo codsiyada kale ee farsamada.
4. U diyaari halabuurka si siman
Isku-dhafka, isku-dhafka, alwaaxyada, iwm, kuwaas oo ku habboon ay adag tahay in lagu dahaadho uumiga faakuumka sababtoo ah cadaadiska uumiga ee qaybaha ayaa ka duwan ama sababtoo ah waxay kala soocaan marka la kululeeyo. xagga substrate-ka, dareenkan ayaa ah xirfado samaynta filim ka fiican. Dhammaan noocyada alaabta waxaa loo isticmaali karaa wax soo saarka daahan warshadaha by sputtering.
Waqtiga boostada: Abriil-29-2022