Waqtigan xaadirka ah, ku dhawaad dhammaan bartilmaameedyada naxaasta ah ee aadka u sarreeya ee nadiifka ah ee ay u baahan yihiin warshadaha IC waxaa kakooban dhowr shirkadood oo caalami ah oo ajnabi ah. Dhammaan bartilmaameedyada naxaasta ultrapure ee looga baahan yahay warshadaha gudaha ee IC waxay u baahan yihiin in la soo dhoofiyo, taas oo aan qaali ahayn, laakiin sidoo kale waxay ku adag tahay hababka soo dejinta Sidaa darteed, Shiinuhu wuxuu si degdeg ah ugu baahan yahay inuu hagaajiyo horumarinta iyo xaqiijinta bartilmaameedyada nadiifinta sare ee nadiifka ah (6N) . Aynu eegno qodobbada muhiimka ah iyo dhibaatooyinka ku jira horumarinta bartilmaameedyada nadiifinta aadka u sarreeya (6N) ee naxaasta.
1,Horumarinta walxaha nadiifka ah ee aadka u sarreeya
Tiknoolajiyada sifaynta ee cu, Al iyo Ta birta ee nadiifka ah ee Shiinaha aad ayay uga fog tahay tan wadamada horumaray warshadaha. Waqtigan xaadirka ah, inta badan biraha nadiifka ah ee sare leh ee la bixin karo ma buuxin karaan shuruudaha tayada ee wareegyada isku dhafan ee loogu talagalay bartilmaameedyada sputtering iyadoo loo eegayo hababka falanqaynta walxaha oo dhan ee warshadaha. Tirada ka mid noqoshada bartilmaameedku aad ayay u badan tahay ama si aan sinnayn loo qaybiyay. Qaybaha ayaa inta badan lagu sameeyaa waferka inta lagu jiro sputtering, taasoo keentay wareegga gaaban ama wareegga furan ee isku-xirnaanta, taas oo si dhab ah u saameynaysa waxqabadka filimka.
2,Horumarinta tignoolajiyada diyaarinta bartilmaameedka sputtering copper
Horumarinta tignoolajiyada diyaarinta yoolalka naxaasta waxay inta badan diiradda saartaa saddex arrimood: cabbirka hadhuudhka, xakamaynta hanuuninta iyo isku-midnimada. Warshadaha semiconductor-ka ayaa leh shuruudaha ugu sarreeya ee firiminta bartilmaameedyada iyo uumi-baxa alaabta ceeriin. Waxay leedahay shuruudo aad u adag oo loogu talagalay xakamaynta cabbirka hadhuudhka dusha sare iyo jihaynta crystal ee bartilmaameedka. Cabbirka hadhuudhka bartilmaameedka waa in lagu xakameeyaa 100μ M hoos, sidaas darteed, xakamaynta xajmiga hadhuudhka iyo hababka falanqaynta isku xirka iyo ogaanshaha ayaa aad muhiim u ah horumarinta bartilmaameedyada birta.
3,Horumarinta falanqaynta iyotijaabin tignoolajiyada
Nadaafadda sare ee bartilmaameedku waxay ka dhigan tahay dhimista wasakhda. Waagii hore, balaasmaha inductive-ku-xidhan yahay (ICP) iyo spectrometry nuugista atomiga ayaa loo isticmaali jiray si loo go'aamiyo wasakhda, laakiin sannadihii u dambeeyay, falanqaynta tayada dheecaanka dhalaalka (GDMS) oo leh dareen sare ayaa si tartiib tartiib ah loo isticmaalay heerka caadiga ah. habka. Saamiga iska caabbinta hadhaaga habka RRR waxaa inta badan loo isticmaalaa go'aaminta nadiifinta korantada. Mabda'a go'aaminta waa in la qiimeeyo nadiifnimada birta saldhigga iyada oo la cabbirayo heerka kala firdhisanaanta elektaroonigga ah ee wasakhda. Sababtoo ah waa in la cabbiro caabbinta heerkulka qolka iyo heerkulka aadka u hooseeya, way fududahay in la qaato lambarka. Sanadihii la soo dhaafay, si loo sahamiyo nuxurka biraha, cilmi baarista nadiifinta aadka u sarreeya waa mid aad u firfircoon. Xaaladdan oo kale, qiimaha RRR waa habka ugu wanaagsan ee lagu qiimeeyo nadiifnimada.
Waqtiga boostada: May-06-2022