1. Sauniuniga Sputtering
E taua tele le tausia o le potu vacuum, aemaise lava le sputtering system mama. So'o se toega e maua mai i le lubricating o le suau'u, pefu ma le ufiufi muamua o le a aoina ai le ausa vai ma isi mea filogia, lea o le a a'afia sa'o ai le vacuum degree ma fa'ateleina ai le avanoa e fa'aletonu ai le faia o ata. O le ta'amilosaga pu'upu'u po'o le fa'ailoga fa'atatau, ata mata'utia i luga ma le tele o vaila'au le mama e masani ona mafua mai i potu ta'i le mama, fana ma fa'amoemoe. Ina ia tausisia uiga tuʻufaʻatasia o le ufiufi, e tatau ona faʻamama ma faʻagogo le kesi sputtering (argon poʻo le okesene). A maeʻa ona faʻapipiʻi le substrate i totonu o le potu sputtering, e manaʻomia ona aveese le ea e oʻo atu i le vacuum e manaʻomia e le faagasologa. E manaʻomia foʻi ona faʻamama le ufiufi puipui i le vaega pogisa, puipui o le lua ma le pito i tafatafa. Pe a faʻamamā le potu gaogao, matou te fautuaina le faʻaaogaina o le polo tioata e faʻafefe ai vaega pefu, faʻatasi ai ma le ea faʻapipiʻi e aveese ai mea na totoe o le sputtering muamua i totonu o le potu, ona faʻapupulaina filemu lea o le pito i fafo i le alumina impregnated sandpaper. A maeʻa ona faʻamalama le pepa kasa, faʻamama i le ava malosi, acetone ma vai faʻafefe. Faʻatasi, e faʻamalosia ai le faʻaogaina o le faʻamama gaogao fale gaosi oloa mo le faʻamamaina fesoasoani. O sini na gaosia e Gaozhan uamea o loʻo faʻapipiʻiina i taga palasitika faʻamaufaʻailogaina,
Fausia i totonu ole susū-fa'amaufa'ailoga. Pe a faʻaaogaina le faʻamoemoe, faʻamolemole aua neʻi paʻi saʻo i lou lima le faʻamoemoe. Fa'aaliga: pe a fa'aogaina le fa'amoemoe, fa'amolemole fai totigilima fa'alelei mama ma le lint. Aua ne'i pa'i sa'o i ou lima le fa'atatau
2、 Fa'amama fa'amoemoe
O le fa'amoemoega o le fa'amama fa'atatau o le aveese lea o le pefu po'o le palapala atonu o lo'o iai i luga ole la'asaga.
O le sini uamea e mafai ona fa'amama i ni laasaga se fa,
O le laasaga muamua o le fa'amama i se ie vaivai e leai se lint ua fa'asū i le acetone;
O le laasaga lona lua e tutusa ma le laasaga muamua, faʻamamaina i le ava malosi;
Laasaga 3: fa'amama i vai fa'aonaona. A mae'a ona fufulu ile vai fa'a'ona, tu'u le mea'ai ile ogaumu ma fa'amago ile 100 ℃ mo le 30 minute.
Ole fa'amamāina ole oxide ma sima e tatau ona fa'atinoina ile “ie leai se liu”.
O le laasaga lona fa o le fufuluina lea o le sini i le argon ma le maualuga o le mamafa ma le maualalo o le kasa vai pe a uma ona aveese le nofoaga pefu, ina ia aveese uma vaega eleelea e mafai ona fausia ai le arc i le sputtering system.
3、 masini fa'atatau
I le faagasologa o le faʻapipiʻiina o faʻatonuga, Z puipuiga taua o le faʻamautinoaina o se fesoʻotaʻiga lelei o le vevela i le va o le sini ma le puipui malulu o le fana sputtering. Afai o le warpage o le tootoo malulu e ogaoga po o le warpage o le ipu pito i tua e ogaoga, o le mea autu o le a ta'e pe punou, ma le conductivity vevela mai le taulaiga pito i tua i le taulaiga o le a matua aafia, e mafua ai le toilalo o le vevela dissipation. i le faagasologa o le sputtering, ma o le a ta'e pe misi le sini
Ina ia faʻamautinoa le faʻaogaina o le vevela, e mafai ona faʻapipiʻi se vaega o le pepa graphite i le va o le puipui malulu cathode ma le faʻamoemoe. Fa'amolemole fa'alogo lelei e siaki ma fa'amanino le mafolafola o le puipui malulu o le fana fa'aoga e fa'amautinoa ai o lo'o i ai pea le O-mama.
Talu ai o le mama o le vai malulu o loʻo faʻaaogaina ma le pefu e ono tupu i le taimi o le faʻaogaina o meafaigaluega o le a teuina i totonu o le pusa vai malulu cathode, e tatau ona siaki ma faʻamama le pusa vai malulu cathode pe a faʻapipiʻi le taulaʻi ina ia mautinoa le lamolemole. fe'avea'i o vai malulu ma ia aua ne'i poloka le mea e ulu atu ai ma fafo.
O nisi cathodes ua fuafuaina e maua se avanoa laitiiti ma le anode, o lea pe a faʻapipiʻi le sini, e manaʻomia e faʻamautinoa e leai se paʻi poʻo se taʻavale i le va o le cathode ma le anode, a leai o le a tupu se taʻavale puupuu.
Va'ai i le Tusita'iala a le tagata fa'afoe meafaigaluega mo fa'amatalaga ile fa'agaioiga sa'o o le fa'atatau. Afai e leai se faʻamatalaga faʻapea i totonu o le tusi faʻaoga, faʻamolemole taumafai e faʻapipiʻi le masini e tusa ai ma fautuaga talafeagai na tuʻuina mai e Gaozhan metal. A fa'amauina le mea fa'atatau, ia fa'amau muamua le tasi fa'amau i le lima, ona fa'amau lea o le isi fa'amau i luga o le diagonal i le lima. Toe fai lenei mea seia mau uma faʻamau i luga o le masini, ona faʻapipiʻi lea i se mea.
4、 Su'ega pu'upu'u ma fufusi
A maeʻa le faʻaogaina o le masini, e manaʻomia le siakiina o le puʻupuʻu ma le faʻamalosi o le cathode atoa,
O lo'o tu'uina atu e fuafua pe i ai se ta'amilosaga pu'upu'u i totonu o le cathode e ala i le fa'aaogaina o se mita tete'e
Fa'ailoga tagata. A maeʻa ona faʻamaonia e leai se vaʻa puʻupuʻu i totonu o le cathode, e mafai ona faʻatinoina le suʻesuʻeina o le liki, ma e mafai ona faʻafeiloaʻi le vai i totonu o le cathode e faʻamaonia ai pe o iai le vai.
5. Fa'amoemoe muamua sputtering
Fa'atatau i luma sputtering fautua mama argon sputtering, lea e mafai ona faamamaina luga o le sini. A maeʻa le faʻamoemoega, e fautuaina e faʻagesegese le malosi o le sputtering, ma o le maualuga o le malosi o le sima e 1.5WH / cm2. O le saosaoa muamua sputtering o u'amea sini e mafai ona maualuga atu nai lo le sima poloka sini, ma o se fua faatatau faateleina malosiaga o le 1.5WH / cm2.
I le faagasologa o le muai sputtering, e tatau ona tatou siaki le arcing o le sini. O le taimi aʻo leʻi faʻamalo e masani lava e tusa ma le 10 minute. Afai e leai se fa'alavelave fa'afuase'i, fa'aauau pea ona fa'ateleina le malosi o le sputtering
I le mana seti. E tusa ai ma le poto masani, o le Z maualuga sputtering mana o le sini uamea e talia
25watts / cm2, 10watts / cm2 mo sima sima. Fa'amolemole va'ai le fa'avae fa'atulagaina ma le poto masani o le mamafa o le potu gaogao i le taimi o le sputtering i totonu o le tusi lesona a le tagata fa'aoga. E masani lava, e tatau ona faʻamautinoa o le vevela o le vai i fafo o le vai malulu e tatau ona laʻititi ifo i le 35 ℃, ae o le Z e taua le faʻamautinoa e mafai ona galue lelei le faʻaogaina o le vai malulu.
O le taamilo vave o vai supercooling e aveesea ai le vevela, o se faʻamaoniga taua e faʻamautinoa ai le faʻaauau pea o le sputtering ma le malosi maualuga. Mo sini u'amea, e masani ona fautuaina o le tafe vai malulu
20lpm mamafa vai e tusa ma le 5gmp; Mo sini sima, e masani ona fautuaina o le tafe o le vai e 30lpm ma le mamafa o le vai e tusa ma le 9gmp.
6、 Tausiga sini
Ina ia puipuia le taʻavale puʻupuʻu ma le faʻailoga e mafua mai i le lua le mama i le faagasologa o le sputtering, e tatau ona aveese le sputter faʻaputuina i le ogatotonu ma itu uma e lua o le auala sputtering i vaega,
E fesoasoani fo'i lea i tagata fa'aoga e fa'aauau pea le fa'aoso i le z maualuga le malosi
7、 Fa'atonuga teuina
O faʻamoemoega na tuʻuina atu e Gaozhan uamea o loʻo faʻapipiʻiina i taga palasitika vacuum lua. Matou te fautua atu i tagata fa'aoga e teu fa'atatau, pe u'amea po'o sima, i totonu o le fa'apipi'i gaogao. Aemaise lava, o sini faʻapipiʻi e manaʻomia ona teuina i lalo ole vacuum condition e puipuia ai le faʻamaʻiina o le faʻamaʻi faʻapipiʻi mai le aʻafiaina o le lelei o le fusi. E tusa ai ma le afifiina o sini uamea, matou te fautua atu e tatau ona afifi Z i taga palasitika mama
Taimi meli: Me-13-2022