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Su'esu'ega alualu i luma i titanium alumini alumini sputtering mea fa'apipi'i fa'atatau

Titanium alumini u'amea o se u'amea sputtering sini mo le fa'aputuga gaogao. Titanium alumini alumini sini ma uiga eseese e mafai ona maua e ala i le fetuutuunai o mea o le titanium ma alumini i lenei uʻamea. Titanium alumini fa'ameamea fa'atasi o mea malō ma palapa'u ma lelei le ofuina. O loʻo faʻapipiʻiina i latou i se vaega o le titanium aluminum intermetallic compounds i luga o le pito i luga o meafaigaluega tipi masani, lea e mafai ona faʻalauteleina le ola tautua o meafaigaluega. Afai e faia le sputtering i le arc discharge arc amata, e mafai ona maua se ufimata mata maualuga ma le maualalo o le feteʻenaʻi, lea e fetaui lelei mo le faʻapipiʻiina o meafaigaluega eseese, molds ma isi vaega vaivai. O le mea lea, o loʻo i ai se faʻamoemoega faʻaoga lelei i le alamanuia masini.

O le tapenaga o fa'ailoga alumini alumini titanium e fai si faigata. E tusa ai ma le faʻataʻitaʻiga o le alumini alumini titanium, e mafai ona faʻapipiʻiina mea faʻapipiʻi eseese i le va o le titanium ma le alumini, e oʻo atu ai i le faʻaogaina o le gaogao i le alumini alumini titanium. Aemaise lava pe a sili atu i le 50% le mea o loʻo i totonu o le alumini (atomic ratio), faʻafuaseʻi ona faʻaitiitia le faʻamaʻiina o le faʻamaʻi ma o le faʻamaʻiina e ogaoga. I le taimi lava e tasi, o le faʻalauteleina o le exothermic i le taimi o le faʻaogaina o mea e mafai ona faigofie ona faʻatupuina faʻamaʻi, faʻaitiitia pores, ma porosity, e mafua ai le maualuga o le porosity o le uʻamea ma le le mafai ona faʻamalieina manaʻoga mamafa o mea faʻatatau. E lua auala autu mo le saunia o alumini alumini titanium:

1、 Malosi auala fa'avevela i le taimi nei

O lenei metotia e faʻaaogaina ai se masini e mafai ona maua ai le maualuga o le taimi nei, lea e faʻamafanafanaina ai le paʻu o le titanium ma le paʻu alumini, faʻaaogaina le mamafa, ma mafua ai le alumini ma le titanium e tali atu e fausia ai le titanium aluminum alloy targets. O le maualuga o le titanium alumini alumini oloa faʻamoemoega ua saunia e lenei metotia o le> 99%, ma o le saito tele e ≤ 100 μm. Mama>99%. O le tu'ufa'atasiga o mea fa'apipi'i alumini alumini titanium o le: titanium anotusi o le 5% i le 75% (atomic ratio), ma le isi mea o le alumini. O lenei metotia e maualalo le tau ma le maualuga o oloa gaosi, ma e mafai ona faʻamalieina atoatoa manaʻoga o le gaosiga o pisinisi tetele.

2、 Hot isostatic fetaomi auala sintering

O lenei metotia e faʻafefiloi ai le paʻu o le titanium ma le paʻu alumini, ona oʻo ai lea i le utaina o le paʻu, malulu isostatic oomi muamua, faʻamalo le faʻaogaina, ona faʻapipiʻi ai lea o le vevela isostatic. Ma le mea mulimuli, o le sintering ma le faʻagasologa o loʻo faʻatinoina ina ia maua ai faʻailoga alumini alumini titanium. O le titanium aluminum alloy target ua saunia e lenei metotia o loʻo i ai uiga o le maualuga maualuga, leai se pores, leai se porosity ma segregation, tuʻufaʻatasiga tutusa, ma fatu lelei. O le vevela isostatic oomi auala o le taimi nei o le auala autu mo le saunia titanium alumini alumini sputtering sini e manaʻomia e le alamanuia faʻapipiʻi.


Taimi meli: Me-10-2023