O le tele o uo e uiga i le tausiga o le sini o loʻo i ai le tele pe itiiti ifo foi fesili, talu ai nei o loʻo i ai foi le tele o tagata faʻatau e faʻatalanoaina e uiga i le tausiga o faʻafitauli e fesoʻotai i ai, tuʻu le faatonu o le RSM mo i matou e faʻasoa e uiga i le sputtering faʻamoemoega tausiga malamalama .
E fa'afefea ona fa'atumauina fa'amoemoega ole sputter?
1, tausiga fa'amoemoe
Ina ia aloese mai le taamilosaga puupuu ma le arcing e mafua mai i le gaogao le mama i le faagasologa o le sputtering, e tatau ona aveese mai lea taimi i lea taimi le sputters faaputuputu i le ogatotonu ma itu uma e lua o le auala sputtering, lea e fesoasoani foi i tagata e faaaogaina e faaauau pea sputter i le malosi maualuga.
2、 Fa'atonuga teuina
Matou te fautuaina tagata fa'aoga e teu le taula'iga (pe u'amea po'o le ceramic) i totonu o le fa'apipi'i gaogao, ae maise le fa'atatauga fa'atatau e tatau ona teuina i totonu o le vacuum e puipuia ai le fa'ama'iina o le fa'alava fa'apipi'i mai le a'afiaina o le fa'aogaina lelei. Ae mo le afifiina o sini uamea, matou te fautua atu e tatau ona teuina i totonu o taga palasitika mama a itiiti mai.
3、 Fa'amama fa'amoemoe
O le laasaga muamua o le fa'amama i se ie vaivai e leai se lint ua fa'asū i le acetone;
O le laasaga lona lua e tutusa ma le laasaga muamua, faʻamamaina i le ava malosi;
Laasaga 3: fa'amama i vai fa'aonaona. A mae'a ona fa'amamāina ile vai fa'asa'o, ona tu'u loa lea ile ogaumu ma fa'agogo ile 100 ℃ mo le 30 minute. E fautuaina le fa'aogaina o le “ie e leai ni lipine” e fa'amama ai fa'ama'i fa'ama'i.
O le laasaga lona fa o le fufuluina lea o le sini i le argon ma le maualuga o le mamafa ma le maualalo o le susu e aveese ai soʻo se vaega le mama e ono mafua ai le arc i totonu o le sputtering system.
4、 Va'aiga pupuu ma siaki mau
A maeʻa ona faʻapipiʻi le sini, e manaʻomia le siakiina o le cathode atoa mo le puʻupuʻu ma le faʻamalosi. E fautuaina e faʻamasino pe i ai se taʻavale puʻupuʻu i totonu o le cathode e ala i le faʻaaogaina o se mita tetee ma se megger. A maeʻa ona faʻamaonia e leai se puʻupuʻu i totonu o le cathode, e mafai ona faʻatinoina le suʻesuʻeina o le vai, ma e mafai ona faʻafeiloaʻi le vai i totonu o le cathode e iloa ai pe o iai le vai.
5、 afifiina ma felauaiga
O sini uma o loʻo faʻapipiʻiina i taga palasitika faʻamaufaʻailogaina ma faʻamaʻi susu. O le pusa pito i fafo e masani lava o pusa laupapa ma le anti-collision layer faataamilo e puipuia le sini ma le backplane mai le faaleagaina i le taimi o felauaiga ma le teuina.
Taimi meli: Iul-15-2022