Faʻatasi ai ma le faʻaleleia atili o tulaga ola o tagata ma le faʻaauau pea o le atinaʻeina o saienisi ma tekinolosi, e maualuga atu ma maualuga manaʻoga o tagata mo le faʻatinoina o mea faʻapipiʻi faʻaofuofu, faʻamaʻi ma le maualuga o le vevela. O le mea moni, e mafai foi e le ufiufi ona teuteu le lanu o nei mea. Ona, o le a le eseesega i le va o le togafitiga o le electroplating sini ma sputtering target? Tuu atu i tagata popoto mai le Matagaluega Tekonolosi a le RSM e faamatala atu mo oe.
Fa'ailoga eletise
O le mataupu faavae o le electroplating e ogatasi ma le electrolytic faamamaina apamemea. Pe a faʻapipiʻi eletise, o le electrolyte o loʻo i ai ion uʻamea o le laulau faʻapipiʻi e masani ona faʻaaogaina e saunia ai le fofo faʻapipiʻi; Fa'atofuina o le oloa uamea e fa'apipi'i i totonu o le vaifofo fa'apipi'i ma fa'afeso'ota'i i le eletise leaga o le eletise DC e pei o le cathode; O le uamea ufiufi e faʻaaogaina e pei o le anode ma faʻafesoʻotaʻi i le eletise lelei o le eletise DC. Pe a faʻaaogaina le eletise DC maualalo, e faʻamavae le uʻamea anode i le fofo ma avea ma cation ma alu i le cathode. O nei ion maua electrons i le cathode ma ua faaitiitia i uʻamea, lea e ufiufi i luga o oloa uʻamea e plated.
Sputtering Target
O le mataupu faavae e masani lava o le faʻaaogaina o le susulu e osofaʻia ai argon ion i luga o le faʻamoemoe, ma o atoms o le faʻamoemoe e tuliesea ma teuina i luga o le substrate e fai ai se ata manifinifi. O meatotino ma le tutusa o ata tifaga e sili atu nai lo ata tifaga na teuina ausa, ae o le saoasaoa o le teuina e sili atu le telegese nai lo ata tifaga na teuina ausa. Mea fou sputtering toetoe lava faʻaaogaina maneta malosi e taamilo electrons e faatelevave ai le ionization o argon faataamilo i le sini, lea e faateleina ai le avanoa o fetoaiga i le va o le sini ma argon ions ma faaleleia le fua faatatau sputtering. O le tele o ata u'amea u'amea o DC sputtering, a'o mea e le fa'agaioia sima maneta o RF AC sputtering. O le mataupu faavae o le faʻaaogaina o le susulu i totonu o le vacuum e tuʻi ai luga o le faʻamoemoe i ion argon. O cation i totonu o le plasma o le a faʻavavevave e faʻavave atu i luga o le eletise le lelei e pei o le mea ua taʻe. O lenei osofa'iga o le a lele ese ai le mea fa'atatau ma teu i luga o le mea'ai e fai ai se ata manifinifi.
Tulaga filifilia o mea fa'atatau
(1) O le sini e tatau ona i ai le malosi faʻainisinia lelei ma le faʻamautuina o vailaʻau pe a maeʻa le faʻatulagaina o ata;
(2) E tatau ona faigofie le fa'atupuina o se ata fa'afefiloi ma le kasa tali;
(3) O le sini ma le substrate e tatau ona faʻapipiʻiina lelei, a le o lea, e tatau ona faʻaaogaina le ata tifaga ma le malosi faʻapipiʻi lelei ma le substrate, ma o se ata pito i lalo e tatau ona sputtered muamua, ona saunia lea o le ata tifaga manaʻomia;
(4) I luga o le tulaga o le ausia o manaoga o le faatinoga o ata tifaga, o le laʻititi o le eseesega i le va o le faʻalauteleina o le vevela o le sini ma le substrate, o le sili atu lea, ina ia faʻaitiitia ai le aʻafiaga o le vevela vevela o le ata tifaga sputtered;
(5) E tusa ai ma le faʻaogaina ma le faʻatinoga o manaʻoga o le ata, o le faʻaoga faʻaoga e tatau ona fetaui ma manaoga faʻapitoa o le mama, mea le mama, tulaga tutusa, saʻo masini, ma isi.
Taimi meli: Aukuso-12-2022