O se su'esu'ega fou i le tusi talaaga Diamond and Related Materials e taula'i i le togitogiina o taimane polycrystalline ma FeCoB etchant e fai ai mamanu. O se taunuuga o nei faʻaleleia faʻatekonolosi faʻafouina, e mafai ona maua luga o taimane e aunoa ma le faʻaleagaina ma faʻaitiitia ai faʻaletonu.
Su'esu'ega: Va'ava'ai fa'afanua o taimane i le tulaga mautu e fa'aaoga ai le FeCoB fa'atasi ai ma se ata ata. Fa'amatalaga ata: Bjorn Wilezic/Shutterstock.com
E ala i le faʻagasologa o le faʻasalalauina o le malo, FeCoB nanocrystalline films (Fe: Co: B = 60: 20: 20, atomic ratio) e mafai ona ausia le lattice targeting ma le faʻaumatiaina o taimane i le microstructure.
O taimane ei ai uiga faʻapitoa faʻapitoa faʻapitoa ma vaʻaia, faʻapea foʻi ma le maualuga ma le malosi. O lona umi tele o se puna taua o le alualu i luma i le ultra precision machining (taimane liliu tekinolosi) ma le ala i mamafa mamafa i le tele o le selau o GPa.
O le le mafaia o vailaʻau, vaʻaia vaʻaia ma gaioiga faʻaola e faʻateleina ai le faʻaogaina o avanoa o faiga e faʻaogaina ai nei uiga lelei. Ua faia e Diamond se igoa mo ia lava i matata o mechatronics, optics, sensors ma le pulega o faamatalaga.
Ina ia mafai ona latou faʻaogaina, o le fusia o taimane ma a latou mamanu e faʻaalia ai faʻafitauli manino. Reactive ion etching (RIE), inductively coupled plasma (ICP), ma le electron beam induced etching o ni fa'ata'ita'iga o faiga fa'agasologa o lo'o i ai nei o lo'o fa'aogaina metotia etching (EBIE).
O fausaga taimane o lo'o faia fo'i i le fa'aogaina o le laser ma le fa'aogaina o le ion beam (FIB). O le fa'amoemoega o lenei faiga fa'atosina o le fa'avavevave lea o le fa'amama fa'apea fo'i le fa'ataga o le fa'asili i luga o vaega tetele i fa'asologa o gaosiga. O nei fa'agasologa e fa'aogaina ai vai etchants (plasma, kasa, ma vai vaifofo), lea e fa'atapula'a ai le lavelave fa'atusa e mafai ona ausia.
O lenei galuega su'eina eleele e su'esu'e ai le fa'amamaina o mea e ala i le gaosiga o ausa ma fa'atupu ai le taimane polycrystalline ma le FeCoB (Fe:Co:B, 60:20:20 atomic pasene) i luga. O le taulaiga autu e totogi i le fausiaina o faʻataʻitaʻiga TM mo le faʻaogaina saʻo o fausaga mita-fua i taimane. O le taimane autu o loʻo faʻapipiʻiina i le nanocrystalline FeCoB e ala ile vevela ile 700 i le 900°C mo le 30 i le 90 minute.
O se vaega o le taimane fa'ata'ita'iga o lo'o fa'ailoa mai ai se fa'avae polycrystalline fa'avae. O le talatala (Ra) i totonu o vaega taʻitasi taʻitasi o le 3.84 ± 0.47 nm, ma le aofaʻi atoa roughness luga ole 9.6 ± 1.2 nm. O le talatala (i totonu o le fatu taimane e tasi) o le faʻapipiʻiina o le FeCoB o le 3.39 ± 0.26 nm, ma le maualuga o le 100 ± 10 nm.
Ina ua maeʻa le faʻamaʻiina i le 800 ° C mo le 30 min, o le mafiafia o le uʻamea ua faʻateleina i le 600 ± 100 nm, ma le maualuga o le roughness (Ra) faʻateleina i le 224 ± 22 nm. I le taimi o le faʻamaʻi, e sosolo atu le carbon atoms i totonu o le FeCoB layer, ma mafua ai le faʻateleina o le lapopoa.
E tolu fa'ata'ita'iga o lo'o iai le FeCoB e 100 nm mafiafia na fa'avevela i le vevela o le 700, 800, ma le 900°C. A o'o i lalo ole 700°C le maualuga ole vevela, e leai se sootaga taua ile va o taimane ma le FeCoB, ma e itiiti lava mea e aveese pe a mae'a togafitiga ole vai. O le aveeseina o mea e faʻaleleia e oʻo atu i le vevela i luga atu o le 800 °C.
Ina ua oʻo le vevela i le 900 ° C, o le fua o le etching na faʻaluaina faʻatusatusa i le vevela o le 800 ° C. Ae ui i lea, o le talaaga o le itulagi etched e matua ese lava mai le faʻasologa o le etch sequences (FeCoB).
Fa'ata'ita'iga o lo'o fa'aalia ai le va'aiga o se mea fa'amalo e fai ai se fa'ata'ita'iga: Va'aiga fa'a-satitia malo fa'asolo o taimane e fa'aaoga ai le FeCoB fa'ata'ita'i ata. Fa'amatalaga ata: Van Z. ma Shankar MR et al., Taimane ma Mea Fa'atatau.
FeCoB faʻataʻitaʻiga 100 nm mafiafia i taimane sa gaosia i le 800°C mo le 30, 60, ma le 90 minute.
O le talatala (Ra) o le vaega togitogia na fuafuaina o se galuega o le tali taimi i le 800 ° C. O le maaa o faʻataʻitaʻiga pe a maeʻa le faʻaogaina mo le 30, 60 ma le 90 minute o le 186 ± 28 nm, 203 ± 26 nm ma le 212 ± 30 nm, i le faasologa. Faatasi ai ma se loloto etch o le 500, 800, poʻo le 100 nm, o le fua faatatau (RD) o le talatala o le vaega togitogiga i le loloto etch o le 0.372, 0.254, ma le 0.212, faasologa.
O le talatala o le vaega ua togitogia e le faatupulaia tele i le faateleina o le loloto o le togitogiina. Ua maua o le vevela e manaʻomia mo le tali i le va o taimane ma le HM etchant e sili atu i le 700°C.
O fa'ai'uga o le su'esu'ega e fa'aalia ai e mafai e le FeCoB ona aveese ma'ale'ale taimane i se fua vave atu nai lo Fe po'o Co na'o ia.
Taimi meli: Aukuso-31-2023