Z naraščajočim povpraševanjem na trgu se nenehno posodablja vedno več vrst tarč za razprševanje. Nekatere stranke poznajo, druge pa ne poznajo. Zdaj bi radi z vami delili, katere so vrste magnetronskih razpršilnih tarč.
Tarča za naprševanje ima naslednje vrste: tarča za naprševanje iz kovine, tarča za naprševanje iz zlitine, tarča za keramično naprševanje, tarča za naprševanje iz boridne keramike, tarča za naprševanje iz karbidne keramike, tarča za naprševanje iz fluoridne keramike, tarča za naprševanje iz nitridne keramike, tarča iz oksidne keramike, selenidna keramična tarča za naprševanje , silicidna keramika tarča za razprševanje, tarča za razprševanje iz sulfidne keramike, tarča za razprševanje iz teluridne keramike, druge keramične tarče, keramična tarča iz silicijevega oksida, dopirana s kromom (CR SiO), tarča iz indijevega fosfida (INP), tarča iz svinčevega arzenida (pbas), tarča iz indijevega arzenida (InAs).
Magnetronsko razprševanje je na splošno razdeljeno na dve vrsti: razprševanje z enosmernim tokom in RF razprševanje. Načelo opreme za brizganje z enosmernim tokom je preprosto, njegova hitrost pa je tudi hitra pri brizganju kovine. RF razprševanje se pogosto uporablja. Poleg razprševanja prevodnih podatkov lahko razprši tudi neprevodne podatke. Istočasno tarča za razprševanje izvaja tudi reaktivno razprševanje za pripravo podatkov o spojinah, kot so oksidi, nitridi in karbidi. Če se RF frekvenca poveča, bo to postalo mikrovalovno plazemsko razprševanje. Trenutno se pogosto uporablja mikrovalovno plazemsko razprševanje z elektronsko ciklotronsko resonanco (ECR).
Čas objave: 18. maj 2022