1、 Priprava za škropljenje
Zelo pomembno je, da je vakuumska komora, še posebej sistem za razprševanje, čist. Vsi ostanki, ki nastanejo zaradi mazalnega olja, prahu in predhodnega premaza, bodo zbirali vodno paro in druga onesnaževala, kar bo neposredno vplivalo na stopnjo vakuuma in povečalo možnost okvare tvorjenja filma. Kratek stik ali oblok tarče, groba površina filma in prekomerna vsebnost kemičnih nečistoč so pogosto posledica nečiste brizgalne komore, brizgalne pištole in tarče. Da bi ohranili značilnosti sestave prevleke, je potrebno očistiti in posušiti brizgalni plin (argon ali kisik). Ko je substrat nameščen v komoro za razprševanje, je treba odsesati zrak, da se doseže vakuum, ki ga zahteva postopek. Tudi zaščitni pokrov v temnem območju, stena votline in sosednja površina morajo biti čisti. Pri čiščenju vakuumske komore priporočamo uporabo peskanja s stekleno kroglico za obdelavo prašnih delov, skupaj s stisnjenim zrakom za odstranitev zgodnjih ostankov škropljenja okoli komore, nato pa tiho polirajte zunanjo površino z brusnim papirjem, impregniranim z aluminijem. Po poliranju gaznega papirja ga očistimo z alkoholom, acetonom in deionizirano vodo. Skupaj zagovarja uporabo industrijskega sesalnika za pomožno čiščenje. Tarče, ki jih proizvaja Gaozhan metal, so pakirane v vakuumsko zaprte plastične vrečke,
Vgrajeno sredstvo za zaščito pred vlago. Ko uporabljate tarčo, se je ne dotikajte neposredno z roko. Opomba: ko uporabljate tarčo, nosite čiste vzdrževalne rokavice, ki ne puščajo vlaken. Nikoli se ne dotikajte tarče neposredno z rokami
2、 Čiščenje ciljev
Namen čiščenja tarče je odstraniti prah ali umazanijo, ki je lahko na površini tarče.
Kovinsko tarčo lahko očistite v štirih korakih,
Prvi korak je čiščenje z mehko krpo, ki ne pušča vlaken, namočeno v aceton;
Drugi korak je podoben prvemu koraku, čiščenje z alkoholom;
3. korak: očistite z deionizirano vodo. Po pranju z deionizirano vodo postavite tarčo v pečico in jo 30 minut sušite pri 100 ℃.
Čiščenje oksidnih in keramičnih tarč je treba izvesti s "krpo, ki ne pušča vlaken".
Četrti korak je pranje tarče z argonom z visokim pritiskom in nizkim vodnim plinom po odstranitvi prašnega območja, da se odstranijo vsi delci nečistoč, ki lahko tvorijo oblok v sistemu za brizganje.
3、 Ciljna naprava
V procesu namestitve tarče je Z pomemben varnostni ukrep zagotoviti dobro toplotno prevodno povezavo med tarčo in hladilno steno brizgalne pištole. Če je zvitost hladilne palice huda ali zvitost hrbtne plošče močna, bo ciljna naprava počila ali se upognila, toplotna prevodnost od zadnje tarče do tarče pa bo močno prizadeta, kar bo povzročilo neuspeh pri odvajanju toplote. v procesu razprševanja in tarča bo počila ali zgrešila
Da bi zagotovili toplotno prevodnost, lahko med hladilno steno katode in tarčo položimo plast grafitnega papirja. Pazljivo preverite in razjasnite ravnost hladilne stene pištole za brizganje, ki se uporablja, da zagotovite, da je O-tesnilo vedno na mestu.
Ker se čistoča uporabljene hladilne vode in prah, ki lahko nastane med delovanjem opreme, odlagata v rezervoar za katodno hladilno vodo, je treba preveriti in očistiti katodni rezervoar za hladilno vodo, ko nameščate tarčo, da zagotovite nemoteno kroženje hladilne vode in da dovod in izhod ne bosta blokirana.
Nekatere katode so načrtovane tako, da imajo majhen prostor z anodo, zato je treba pri nameščanju tarče zagotoviti, da med katodo in anodo ni dotika ali prevodnika, sicer pride do kratkega stika.
Za informacije o pravilnem upravljanju tarče glejte priročnik za uporabo opreme. Če v uporabniškem priročniku ni takšnih informacij, poskusite napravo namestiti v skladu z ustreznimi predlogi Gaozhan metal. Pri zategovanju ciljnega vpenjala najprej z roko privijte en vijak, nato pa z roko privijte še en vijak na diagonali. To ponavljajte, dokler niso priviti vsi vijaki na napravi, nato pa z nečim zategnite.
4、 Pregled kratkega stika in tesnosti
Po zaključku ciljne naprave je potrebno preveriti kratek stik in tesnost celotne katode,
Predlagano je, da se z merilnikom upora ugotovi, ali je v katodi kratek stik
Vrstica diskriminacije. Po potrditvi, da v katodi ni kratkega stika, je mogoče izvesti odkrivanje puščanja in v katodo lahko vnesete vodo, da potrdite, ali voda pušča.
5、 Predhodno razprševanje tarče
Predhodno razprševanje tarče zagovarja razprševanje s čistim argonom, ki lahko očisti površino tarče. Ko je tarča predhodno razpršena, se priporoča počasno povečevanje moči razprševanja, stopnja povečanja moči keramične tarče pa je 1,5 WH / cm2. Hitrost pred naprševanjem kovinske tarče je lahko višja od hitrosti keramičnega tarčnega bloka, razumna stopnja povečanja moči pa je 1,5 WH / cm2.
V procesu prednaprševanja moramo preveriti oblok tarče. Čas pred naprševanjem je običajno približno 10 minut. Če ni pojava iskrenja, nenehno povečujte moč razprševanja
Na nastavljeno moč. Po izkušnjah je sprejemljiva Z visoka razpršilna moč kovinske tarče
25 vatov / cm2, 10 vatov / cm2 za keramično tarčo. Prosimo, glejte osnovo za nastavitev in izkušnje s tlakom v vakuumski komori med brizganjem v uporabniškem priročniku za uporabo sistema. Na splošno je treba zagotoviti, da je temperatura vode na izhodu iz hladilne vode nižja od 35 ℃, vendar je pomembno zagotoviti, da lahko krožni sistem hladilne vode učinkovito deluje.
Hitro kroženje podhlajene vode odvzema toploto, kar je pomembno zagotovilo za zagotavljanje neprekinjenega razprševanja z visoko močjo. Za kovinske tarče se na splošno priporoča pretok hladilne vode
20 lpm vodnega tlaka je približno 5 gmp; Za keramične tarče se na splošno priporoča, da je pretok vode 30 l/min in vodni tlak približno 9 gmp
6、 Ciljno vzdrževanje
Da bi preprečili kratek stik in oblok, ki ju povzroči nečista votlina v procesu naprševanja, je treba postopno odstraniti razprševanje, ki se je nabralo v sredini in na obeh straneh razpršilne steze,
To tudi pomaga uporabnikom pri neprekinjenem razprševanju z visoko gostoto moči
7、 Ciljno shranjevanje
Tarče, ki jih ponuja Gaozhan metal, so pakirane v dvoslojne vakuumske plastične vrečke. Zavzemamo se, da uporabniki hranijo tarče, bodisi kovinske ali keramične, v vakuumski embalaži. Zlasti je treba vezne tarče hraniti pod vakuumom, da preprečimo, da bi oksidacija vezne plasti vplivala na kakovost lepljenja. Glede embalaže kovinskih tarč se zavzemamo, da se Z pakira v čiste plastične vrečke.
Čas objave: 13. maj 2022