Nekatere stranke so se o uporabi in načelu tehnologije razprševanja tarč posvetovale z RSM, zdaj pa glede te težave, ki jo bolj skrbi, tehnični strokovnjaki delijo nekaj posebnega sorodnega znanja.
Uporaba tarče za razprševanje:
Naelektreni delci (kot so ioni argona) bombardirajo trdno površino in povzročijo, da površinski delci, kot so atomi, molekule ali snopi, uidejo s površine predmeta, pojav, imenovan »pršenje«. Pri prevleki z magnetronskim razprševanjem se pozitivni ioni, ki nastanejo z ionizacijo argona, običajno uporabljajo za bombardiranje trdne snovi (tarča), razpršeni nevtralni atomi pa se nanesejo na substrat (obdelovanec), da tvorijo filmsko plast. Magnetronski razpršeni premaz ima dve značilnosti: "nizkotemperaturno" in "hitro".
Princip magnetronskega razprševanja:
Ortogonalno magnetno polje in električno polje se dodata med razpršeni ciljni pol (katodo) in anodo, potreben inertni plin (običajno plin Ar) pa se napolni v visokovakuumsko komoro. Trajni magnet tvori 250-350 Gaussovo magnetno polje na površini ciljnega materiala in tvori pravokotno elektromagnetno polje z visokonapetostnim električnim poljem.
Pod delovanjem električnega polja se plin Ar ionizira v pozitivne ione in elektrone, na tarči pa obstaja določen negativen visok pritisk, tako da na elektrone, ki jih oddaja ciljni pol, vpliva magnetno polje in verjetnost ionizacije delovnega poveča plin. Blizu katode se tvori plazma z visoko gostoto in Ar ioni se pod delovanjem Lorentzove sile pospešijo na ciljno površino in z visoko hitrostjo bombardirajo ciljno površino, tako da razpršeni atomi na tarči uidejo s ciljne površine z visoko hitrostjo. kinetično energijo in poletijo do podlage, da tvorijo film po principu pretvorbe gibalne količine.
Magnetronsko razprševanje je na splošno razdeljeno na dve vrsti: razprševanje z enosmernim tokom in RF razprševanje. Načelo opreme za brizganje z enosmernim tokom je preprosto, hitrost brizganja kovin pa je visoka. Uporaba RF razprševanja je obsežnejša, poleg razprševanja prevodnih materialov, pa tudi razprševanja neprevodnih materialov, pa tudi priprave reaktivnega razprševanja oksidov, nitridov in karbidov ter drugih sestavljenih materialov. Če se frekvenca RF poveča, postane mikrovalovno plazemsko razprševanje. Trenutno se pogosto uporablja mikrovalovno plazemsko razprševanje z elektronsko ciklotronsko resonanco (ECR).
Čas objave: 1. avgusta 2022