Ognjevarne volframove kovine in volframove zlitine imajo prednosti visoke temperaturne stabilnosti, visoke odpornosti proti migraciji elektronov in visokega koeficienta emisije elektronov. Tarče iz volframa in volframovih zlitin visoke čistosti se večinoma uporabljajo za izdelavo vratnih elektrod, povezovalnega ožičenja, slojev difuzijske pregrade polprevodniških integriranih vezij. Imajo zelo visoke zahteve glede čistosti, vsebnosti elementov nečistoč, gostote, velikosti zrn in enotne zrnate strukture materialov. Oglejmo si dejavnike, ki vplivajo na pripravo tarče iz volframa visoke čistostiby Rich Special Material Co., Ltd.
I. Vpliv temperature sintranja
Proces oblikovanja volframovega ciljnega zarodka običajno poteka s hladnim izostatičnim tlakom. Zrno volframa bo med sintranjem zraslo. Rast volframovega zrna bo zapolnila vrzel med kristalnimi mejami in tako povečala gostoto volframovega cilja. S povečanjem časa sintranja se povečanje gostote volframove tarče postopoma upočasni. Glavni razlog je, da se kakovost volframovega tarčnega materiala po več postopkih sintranja ni bistveno spremenila. Ker je večina praznin v kristalni meji zapolnjena s kristali volframa, je skupna stopnja spremembe velikosti volframove tarče po vsakem procesu sintranja zelo majhna, kar povzroči omejen prostor za povečanje gostote volframove tarče. Med potekom sintranja se velika volframova zrna napolnijo v praznine, kar ima za posledico gostejšo tarčo manjše velikosti.
2. Učinekhjesti konzerviranje Čas
Pri enaki temperaturi sintranja se kompaktnost materiala volframove tarče izboljša s povečanjem časa sintranja. S podaljševanjem časa sintranja se poveča velikost zrn volframa, s podaljševanjem časa sintranja pa se faktor rasti velikosti zrn postopoma upočasnjuje. To kaže, da lahko povečanje časa sintranja izboljša tudi učinkovitost volframove tarče.
3. Učinek kotaljenja na tarčo Puspešnost
Da bi izboljšali gostoto volframovih ciljnih materialov in pridobili strukturo obdelave volframovih ciljnih materialov, je treba srednje temperaturno valjanje volframovih ciljnih materialov izvesti pod temperaturo rekristalizacije. Ko je temperatura valjanja surovca tarče visoka, je struktura vlaken surovca tarče debelejša, medtem ko je struktura surovca tarče finejša. Ko je izkoristek pri vročem valjanju nad 95 %. Čeprav bo razlika v strukturi vlaken, ki jo povzroči različno sintranje prvotnega zrna ali temperatura valjanja, odpravljena, bo znotraj tarče oblikovana bolj homogena struktura vlaken, tako da višja kot je stopnja obdelave pri toplem valjanju, boljša je zmogljivost tarče.
Čas objave: maj-05-2022