Mnogi uporabniki nakupa tarč ne obravnavajo s strokovnega vidika, na kaj je torej treba biti pozoren pri nakupu tarč? Prosimo Xiaobiana iz Pekinga Ruichija, naj opozori na zadeve, ki zahtevajo pozornost pri nakupu tarč.
Prvič, za tarčo je čistost eden njegovih glavnih funkcionalnih indikatorjev, čistost tarče pa ima velik vpliv na funkcijo kasnejšega filma izdelka. Vsak izdelek ima tudi različne zahteve glede čistosti tarče.
Drugič, vsebnost nečistoč posameznih elementov v tarči. Po vrsti ciljne obdelave so nečistoče v ciljni trdni snovi ter kisik in vodna para v porah glavni viri onesnaženja nanesenih filmov. Zaradi različnih uporab tarč so različne tudi zahteve po različnih vsebnostih nečistoč v tarčah z različnimi uporabnostmi. Na primer, cilji iz čistega aluminija in aluminijevih zlitin, ki se uporabljajo v industriji polprevodnikov, imajo zdaj posebne zahteve glede vsebnosti alkalnih kovin in radioaktivnih elementov.
Gostota je tudi eden od pomembnih indeksov učinkovitosti tarče. V tehničnem procesu tarče, da bi zmanjšali pore v trdni tarči in izboljšali delovanje napršenega filma, mora imeti tarča na splošno visoko gostoto. Glavna značilna gostota tarče ima velik vpliv na hitrost razprševanja in vpliva na električne in optične funkcije filma. Večja kot je ciljna gostota, boljša je funkcija filma.
Na koncu še velikost zrn in porazdelitev zrn. Običajno je tarčni material polikristalen, velikost zrn pa lahko sega od mikrona do milimetra. Za isto tarčo je hitrost razprševanja drobnozrnate tarče hitrejša kot pri grobo zrnati tarči; Debelina filmov, nanesenih s ciljnim naprševanjem z majhno razliko v velikosti zrn (enakomerna disperzija), je bolj enakomerna.
Čas objave: jun-10-2022