Zaradi široke uporabe ciljnega materiala v različnih poklicih je povpraševanje po ciljnem materialu vedno večje. Naslednji Bomo na kratko predstavim ti kaj so primarne funkcionalne zahteve cilja, hoping da ti pomagam.
Čistost: Čistost je eden od primarnih funkcionalnih indikatorjev tarče, saj ima čistost tarče velik vpliv na funkcijo filma. Toda v praksi čistost ciljnega materiala ni enaka. Na primer, s hitro rastjo stroke mikroelektronike se je velikost silicijeve rezine razvila s 6", 8" na 12", širina ožičenja pa se je zmanjšala z 0,5 um na 0,25 um, 0,18 um in celo 0,13 um. Ko 99,995 % ciljne čistosti lahko izpolni tehnološke zahteve 0,35UMIC. Priprava linije 0,18 um zahteva 99,999 % ali celo 99,9999 % čistost ciljnega materiala.
Gostota: Da bi zmanjšali poroznost v trdni tarči in izboljšali delovanje razpršilnega filma, mora imeti tarča običajno visoko gostoto. Ciljna gostota ne vpliva le na hitrost naprševanja, temveč tudi na električne in optične lastnosti filmov. Višja kot je ciljna gostota, boljša je funkcija filma. Poleg tega sta bili povečani gostota in trdnost ciljnega materiala, da je bolje vzdržal toplotno obremenitev med naprševanjem. Gostota je tudi eden od pomembnih funkcionalnih kazalcev ciljnih snovi.
Vsebnost nečistoč: nečistoče v ciljni trdni snovi ter kisik in vodna para v porah so primarni viri onesnaženja nakopičenih filmov. Različni ciljni materiali za različne namene imajo različne zahteve za različno vsebnost nečistoč. Na primer, cilji iz čistega aluminija in aluminijevih zlitin, ki se uporabljajo v industriji polprevodnikov, imajo posebne zahteve glede vsebnosti alkalijskih kovin in vsebnosti radioaktivnih elementov.
Čas objave: jun-06-2022