Napršeni tarčni materiali imajo med uporabo visoke zahteve, ne le glede čistosti in velikosti delcev, temveč tudi glede enotne velikosti delcev. Zaradi teh visokih zahtev smo pri uporabi materialov za tarče za naprševanje bolj pozorni.
1. Priprava za škropljenje
Zelo pomembno je vzdrževati čistočo vakuumske komore, zlasti sistema za brizganje. Maziva, prah in kakršni koli ostanki prejšnjih premazov lahko kopičijo onesnaževala, kot je voda, kar neposredno vpliva na vakuum in poveča verjetnost okvare tvorbe filma. Kratke stike, iskrenje tarče, grobe površine, ki tvorijo film, in prekomerne kemične nečistoče običajno povzročijo nečiste razpršilne komore, pištole in tarče.
Da bi ohranili sestavne lastnosti prevleke, mora biti razpršilni plin (argon ali kisik) čist in suh. Po namestitvi substrata v komoro za razprševanje je treba izsesati zrak, da se doseže zahtevana raven vakuuma za postopek.
2. Čiščenje ciljev
Namen čiščenja tarče je odstraniti morebitni prah ali umazanijo na površini tarče.
3. Ciljna namestitev
Najpomembnejša stvar, na katero morate biti pozorni med postopkom namestitve tarčnega materiala, je zagotoviti dobro toplotno povezavo med tarčnim materialom in hladilno steno brizgalne pištole. Če je hladilna stena ali hrbtna plošča močno zvita, lahko povzroči pokanje ali upogibanje med namestitvijo ciljnega materiala. Prenos toplote od zadnje tarče do ciljnega materiala bo močno prizadet, kar bo povzročilo nezmožnost odvajanja toplote med brizganjem, kar bo na koncu povzročilo razpoke ali odstopanje ciljnega materiala.
4. Pregled kratkega stika in tesnjenja
Po namestitvi tarčnega materiala je potrebno preveriti kratek stik in tesnjenje celotne katode. Priporočljivo je, da uporabite ohmmeter in megohmmeter, da ugotovite, ali je katoda v kratkem stiku. Po potrditvi, da na katodi ni kratkega stika, lahko izvedete odkrivanje puščanja z vbrizgavanjem vode v katodo, da ugotovite, ali obstaja puščanje.
5. Ciljni material pred naprševanjem
Priporočljivo je, da za predhodno razprševanje ciljnega materiala uporabite čisti plin argon, ki lahko očisti površino ciljnega materiala. Priporočljivo je, da počasi povečujete moč razprševanja med postopkom pred naprševanjem ciljnega materiala. Moč keramičnega ciljnega materiala
Čas objave: 19. oktober 2023