Zdaj moramo biti dobro seznanjeni s tarčo, zdaj se tudi ciljni trg povečuje, naslednje je glavna zmogljivost tarče za razprševanje, ki jo deli urednik iz RSM
Čistost
Čistost ciljnega materiala je eden od glavnih indeksov učinkovitosti, saj ima čistost ciljnega materiala velik vpliv na učinkovitost tankega filma. Vendar pa v praktični uporabi zahteve glede čistosti ciljnih materialov niso enake. Na primer, s hitrim razvojem mikroelektronske industrije je bila velikost silicijevega čipa razvita s 6", 8" na 12", širina ožičenja pa se je zmanjšala z 0,5 um na 0,25 um, 0,18 um ali celo 0,13 um. Prej je lahko čistost ciljnega materiala 99,995 % izpolnila zahteve postopka 0,35 umIC. Čistost ciljnega materiala je 99,999 % ali celo 99,9999 % za pripravo linij 0,18 um.
Vsebnost nečistoč
Nečistoče v ciljni trdni snovi ter kisik in vodna para v porah so glavni viri onesnaženja za nanos filma. Ciljni materiali za različne namene imajo različne zahteve za različno vsebnost nečistoč. Na primer, cilji iz čistega aluminija in aluminijevih zlitin, ki se uporabljajo v industriji polprevodnikov, imajo posebne zahteve glede vsebnosti alkalnih kovin in radioaktivnih elementov.
Gostota
Da bi zmanjšali poroznost v trdni tarči in izboljšali učinkovitost razpršilnega filma, je običajno potrebna visoka gostota tarče. Gostota tarče ne vpliva samo na hitrost razprševanja, ampak tudi na električne in optične lastnosti filma. Večja kot je ciljna gostota, boljša je učinkovitost filma. Poleg tega povečanje gostote in trdnosti tarče omogoča, da tarča bolje prenese toplotno obremenitev v procesu naprševanja. Gostota je tudi eden od ključnih indeksov uspešnosti cilja.
Velikost zrn in zrnatost
Tarča je običajno polikristalna z velikostjo zrn od mikrometra do milimetra. Pri isti tarči je hitrost razprševanja tarče z majhnimi zrni hitrejša kot pri tarči z velikimi zrni. Porazdelitev debeline filmov, nanesenih s tarčo za naprševanje z manjšo razliko v velikosti zrn (enakomerna porazdelitev), je bolj enakomerna.
Čas objave: 4. avgusta 2022