Kako izboljšati stopnjo izkoriščenosti materialov za tarče iz molibdena

Napršene tarče iz molibdena so se pogosto uporabljale v elektronski industriji, sončnih celicah, steklenih prevlekah in na drugih področjih zaradi svojih inherentnih prednosti. S hitrim razvojem sodobne tehnologije v miniaturizaciji, integraciji, digitalizaciji in inteligenci se bo uporaba molibdenovih tarč še povečevala, vse višje pa bodo tudi zahteve glede kakovosti zanje. Zato moramo najti načine za izboljšanje stopnje izkoriščenosti molibdenovih tarč. Zdaj bo urednik RSM predstavil več metod za izboljšanje stopnje izkoriščenosti razpršenih molibdenovih tarč za vse

1. Dodajte elektromagnetno tuljavo na hrbtno stran

Za izboljšanje stopnje izkoriščenosti tarče iz molibdena, napršenega z molibdenom, je mogoče dodati elektromagnetno tuljavo na hrbtni strani ravninske tarče iz molibdena z napršenim magnetonom, magnetno polje na površini tarče iz molibdena pa je mogoče povečati s povečanjem toka elektromagnetno tuljavo, da bi izboljšali stopnjo izkoriščenosti molibdenove tarče.

2. Izberite material cevaste vrtljive tarče

V primerjavi s ploščatimi tarčami izbira cevaste strukture vrtljive tarče poudarja njene bistvene prednosti. Na splošno je stopnja izkoriščenosti ploščatih tarč le 30 % do 50 %, medtem ko lahko stopnja izkoriščenosti cevastih vrtljivih tarč doseže več kot 80 %. Poleg tega pri uporabi magnetronske razpršilne tarče z vrtečo se votlo cevjo, ker se lahko tarča ves čas vrti okoli sklopa magneta s fiksno palico, na njeni površini ne bo ponovnega odlaganja, zato je življenjska doba vrtljive tarče na splošno več kot 5-krat daljša. kot pri ravninski tarči.

3. Zamenjajte z novo opremo za razprševanje

Ključ do izboljšanja stopnje izkoriščenosti ciljnih materialov je dokončanje zamenjave opreme za brizganje. Med postopkom razprševanja tarčnega materiala za razprševanje molibdena se približno ena šestina razpršenih atomov odloži na steno ali nosilec vakuumske komore, potem ko jih zadenejo vodikovi ioni, kar poveča stroške čiščenja vakuumske opreme in izpade. Tako lahko zamenjava nove opreme za razprševanje pomaga izboljšati stopnjo izkoriščenosti tarč iz molibdena za razprševanje.