Cilj ima številne učinke, tržni razvojni prostor pa je velik. Zelo uporaben je na mnogih področjih. Skoraj vsa nova oprema za razprševanje uporablja močne magnete za spiralno vrtenje elektronov za pospešitev ionizacije argona okoli tarče, kar povzroči povečanje verjetnosti trka med tarčo in argonovimi ioni. Zdaj pa si poglejmo vlogo tarče za naprševanje pri vakuumskem nanašanju.
Izboljšajte hitrost brizganja. Na splošno se brizganje z enosmernim tokom uporablja za kovinsko prevleko, medtem ko se brizganje z RF izmeničnim tokom uporablja za neprevodne keramične magnetne materiale. Temeljno načelo je uporaba žarilne razelektritve za udarjanje ionov argona (AR) na površini tarče v vakuumu, kationi v plazmi pa bodo pospešeno hiteli na površino negativne elektrode kot brizgani material. Zaradi tega udarca bo material tarče odletel ven in se odložil na substrat ter tako oblikoval film.
Na splošno obstaja več značilnosti filmske prevleke s postopkom brizganja: (1) kovina, zlitina ali izolator se lahko pretvorijo v filmske podatke.
(2) Pod ustreznimi nastavitvenimi pogoji je film z enako sestavo mogoče izdelati iz več in neurejenih tarč.
(3) Mešanico ali spojino ciljnega materiala in molekul plina je mogoče proizvesti z dodajanjem kisika ali drugih aktivnih plinov v atmosferi praznjenja.
(4) Ciljni vhodni tok in čas razprševanja je mogoče nadzorovati in enostavno je doseči visoko natančno debelino filma.
(5) V primerjavi z drugimi postopki je ugoden za proizvodnjo enotnih filmov velike površine.
(6) Gravitacija skoraj ne vpliva na razpršene delce, položaje tarče in substrata pa je mogoče prosto razporediti.
Čas objave: 17. maj 2022