Kot vsi vemo, sta metodi, ki se običajno uporabljata pri vakuumskem premazovanju, vakuumska transpiracija in ionsko razprševanje. Kakšna je razlika med transpiracijskim premazom in premazom z brizganjemljudi imajo takšna vprašanja. Naj z vami delimo razliko med transpiracijskim premazom in premazom z brizganjem
Vakuumski transpiracijski film je namenjen segrevanju podatkov, ki jih je treba transpirirati, na fiksno temperaturo s pomočjo uporovnega segrevanja ali elektronskega žarka in laserskega luščenja v okolju s stopnjo vakuuma najmanj 10-2Pa, tako da energija toplotnih vibracij molekul oz. atomov v podatkih presega vezno energijo površine, tako da številne molekule ali atomi transpirirajo ali se povečajo in jih neposredno odložijo na substrat, da tvorijo film. Prevleka z ionskim naprševanjem uporablja visoko opazno gibanje pozitivnih ionov, ki nastanejo pri izpustu plina pod vplivom električnega polja, za bombardiranje tarče kot katode, tako da atomi ali molekule v tarči pobegnejo in se odložijo na površino prevlečenega obdelovanca, da tvorijo zahtevani film.
Najpogosteje uporabljena metoda vakuumskega transpiracijskega premaza je metoda uporovnega segrevanja. Njegove prednosti so preprosta zgradba vira ogrevanja, nizki stroški in priročno delovanje. Njegova slabost je, da ni primeren za ognjevzdržne kovine in medije, odporne na visoke temperature. Ogrevanje z elektronskim žarkom in lasersko ogrevanje lahko odpravita pomanjkljivosti uporovnega ogrevanja. Pri segrevanju z elektronskim žarkom se fokusirani elektronski žarek uporablja za neposredno segrevanje oklepanih podatkov, kinetična energija elektronskega žarka pa postane toplotna energija, ki povzroči transpiracijo podatkov. Lasersko segrevanje uporablja visoko zmogljiv laser kot vir ogrevanja, vendar se zaradi visokih stroškov visoko zmogljivega laserja lahko uporablja le v majhnem številu raziskovalnih laboratorijev.
Spretnost razprševanja se razlikuje od veščine vakuumske transpiracije. Razprševanje se nanaša na pojav, da nabiti delci bombardirajo nazaj na površino (tarčo) telesa, tako da se s površine oddajajo trdni atomi ali molekule. Večina emitiranih delcev je atomskih, ki jih pogosto imenujemo razpršeni atomi. Razpršeni delci, ki se uporabljajo za obstreljevanje tarč, so lahko elektroni, ioni ali nevtralni delci. Ker ioni zlahka pridobijo zahtevano kinetično energijo pod električnim poljem, so ioni večinoma izbrani kot luščilni delci.
Postopek razprševanja temelji na žareči razelektritvi, to pomeni, da razpršeni ioni izvirajo iz razelektritve plina. Različne sposobnosti brizganja imajo različne metode žarečega praznjenja. Razprševanje z enosmerno diodo uporablja enosmerno žarečo razelektritev; Triodno razprševanje je žareča razelektritev, ki jo podpira vroča katoda; RF razprševanje uporablja RF žarečo razelektritev; Magnetronsko razprševanje je žareča razelektritev, ki jo nadzira obročasto magnetno polje.
V primerjavi z vakuumsko transpiracijsko prevleko ima brizgalna prevleka številne prednosti. Če je mogoče razpršiti katero koli snov, zlasti elemente in spojine z visokim tališčem in nizkim parnim tlakom; Oprijem med napršeno folijo in podlago je dober; Visoka gostota filma; Debelino filma je mogoče nadzorovati in ponovljivost je dobra. Pomanjkljivost je, da je oprema zapletena in zahteva visokonapetostne naprave.
Poleg tega je kombinacija metode transpiracije in metode razprševanja ionsko nanašanje. Prednosti te metode so močan oprijem med filmom in substratom, visoka hitrost nanašanja in velika gostota filma.
Čas objave: maj-09-2022