Trenutno je več velikih tujih multinacionalnih podjetij v monopolu nad skoraj vsemi vrhunskimi kovinskimi bakrenimi tarčami ultra visoke čistosti, ki jih zahteva industrija IC. Vse ultra čiste bakrene tarče, ki jih potrebuje domača industrija IC, je treba uvoziti, kar ni samo drago, ampak tudi zapleteno pri uvoznih postopkih. Zato mora Kitajska nujno izboljšati razvoj in preverjanje bakrenih tarč za razprševanje ultra visoke čistosti (6N). . Oglejmo si ključne točke in težave pri razvoju bakrenih tarč za razprševanje ultra visoke čistosti (6N).
1、Razvoj materialov ultra visoke čistosti
Tehnologija čiščenja kovin Cu, Al in Ta visoke čistosti na Kitajskem je daleč od tiste v industrijsko razvitih državah. Trenutno večina kovin visoke čistosti, ki jih je mogoče zagotoviti, ne more izpolniti zahtev glede kakovosti integriranih vezij za tarče za razprševanje v skladu z običajnimi metodami analize vseh elementov v industriji. Število vključitev v cilj je previsoko ali neenakomerno porazdeljeno. Med naprševanjem na rezini pogosto nastanejo delci, kar povzroči kratek stik ali odprto vezje medsebojne povezave, kar resno vpliva na delovanje filma.
2、Razvoj tehnologije priprave tarč za naprševanje bakra
Razvoj tehnologije priprave tarč za naprševanje bakra se osredotoča predvsem na tri vidike: velikost zrn, nadzor orientacije in enakomernost. Industrija polprevodnikov ima najvišje zahteve za tarče za razprševanje in izhlapevajoče surovine. Ima zelo stroge zahteve za nadzor velikosti površinskih zrn in kristalne orientacije tarče. Velikost zrn tarče mora biti nadzorovana na 100μ M spodaj, zato so nadzor velikosti zrn ter sredstva korelacijske analize in detekcije zelo pomembni za razvoj kovinskih tarč.
3、Razvoj analize intestiranje tehnologija
Visoka čistost tarče pomeni zmanjšanje nečistoč. V preteklosti sta bili za določanje nečistoč uporabljeni induktivno sklopljena plazma (ICP) in atomska absorpcijska spektrometrija, v zadnjih letih pa se kot standard postopoma uporablja analiza kakovosti žarilnega praznjenja (GDMS) z višjo občutljivostjo. metoda. Metoda razmerja preostalega upora RRR se uporablja predvsem za določanje električne čistosti. Njegovo načelo določanja je ovrednotenje čistosti navadne kovine z merjenjem stopnje elektronske disperzije nečistoč. Ker gre za merjenje upora pri sobni temperaturi in zelo nizki temperaturi, je preprosto izračunati številko. V zadnjih letih so za raziskovanje bistva kovin zelo aktivne raziskave ultravisoke čistosti. V tem primeru je vrednost RRR najboljši način za oceno čistosti.
Čas objave: maj-06-2022